[实用新型]快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构

权利要求书

1.一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于：包括：

主电浆反应腔体，其具有第一反应腔室，又该主电浆反应腔体于该第一反应腔室顶部，具有通孔部；以及

置换件，密封结合于该通孔部，又该置换件为盖板或结合式电浆反应腔体，该结合式电浆反应腔体具有第二反应腔室且于该第二反应腔室的底部形成有连通口部；

当使用该盖板为置换件，则该模块化电浆反应腔室结构，是以该第一反应腔室进行电浆蚀刻反应；

当使用该结合式电浆反应腔体为置换件，则该连通口部与该通孔部相连通，且该模块化电浆反应腔室结构是以该第一反应腔室及该第二反应腔室共同进行电浆蚀刻反应。

2.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该通孔部与该连通口部均为圆形结构。

3.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该结合式电浆反应腔体为圆柱体结构。

4.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该结合式电浆反应腔体的外缘延伸有第一固定件，又借由与第二固定件、第三固定件、第一内部结合件、及第二内部结合件，彼此以螺丝相互锁固及相互迭压结合，最后使该结合式电浆反应腔体与该主电浆反应腔体进行结合。

5.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该通孔部与该盖板间设有至少一个密封环。

6.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该结合式电浆反应腔体与该通孔部间设有至少一个密封环。

7.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该第一反应腔室的直径是大于该第二反应腔室的直径。

8.如权利要求7所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该第一反应腔室的直径除以该第二反应腔室的直径的值是大于等于3。