[实用新型]立式湿制程蚀刻机

权利要求书

1.一种立式湿制程蚀刻机，其特征在于，包含：

一外壳，该外壳内形成一工作空间；

一输送装置，包含设置在该工作空间内的一水平轨道，以及设置在该水平轨道上的至少一夹具，且该夹具能够沿该水平轨道平移；及

一喷射管路，设置在该工作空间内，该喷射管路上设置朝向该水平轨道配置的数个喷嘴， 其中，该些喷嘴间隔排列在对应该水平轨道的二端之间的区域，且该些喷嘴分别配置在不同的高度位置。

2.如权利要求1所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该喷射管路包含有倾斜配置的一直管，该些喷嘴设置在该直管上且该些喷嘴沿该直管间隔排列，该直管的一端封闭，且该直管的另一端连通至一加压液源。

3.如权利要求2所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该直管上设置有一旁通均压管且该旁通均压管分别连通该直管的二端。

4.如权利要求1所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该喷射管路包含数个直管，该些直管上下间隔地相互平行排列，且各该直管倾斜配置，该些直管设置在该水平轨道的一侧。

5.如权利要求4所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，各该直管的一端封闭，且各该直管的另一端分别连通至一加压液源。

6.如权利要求5所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，各该直管上分别设置有一旁通均压管且各该旁通均压管分别连通所在的该直管的二端。

7.如权利要求1所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该喷射管路包含一对直管，沿水平间隔并排配置，各该直管一端封闭，该对直管的另一端相连通且进一步连通至一加压液源。

8.如权利要求7所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，各该直管上分别设置有一旁通均压管且各该旁通均压管分别连通所在的该直管的二端。

9.如权利要求7所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该对直管配置在该水平轨道的二侧。

10.如权利要求9所述的立式湿制程蚀刻机，其特征在于，该水平轨道二侧各该直管的该些喷嘴相向配置。