[实用新型]弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置

说明书

本实用新型涉及一种弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置。该弹性表面波元件包括压电基板、配置于所述压电基板之上的第一配线和第二配线，所述第一配线和所述第二配线交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线和所述第二配线之间隔有绝缘层，所述第一配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第一下配线层和第一上配线层，所述第一配线具有在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层的部分和在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层的部分，所述第一配线在俯视状态下在该第一配线与所述绝缘层重叠的区域在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层。根据本实用新型的弹性表面波元件能够减少声表面波器件的损耗。

技术领域

本实用新型涉及应用声表面波技术领域，尤其涉及一种弹性表面波元件、具有该弹性表面波元件的弹性表面波装置及通信装置。

背景技术

弹性表面波装置是滤波器、谐振器及振荡器中的一种常用元件。

图1示出以往的表面声波滤波器。该表面声波滤波器100包括压电基板101、梳齿电极102、103、104、反射器电极105、106、焊盘107、109、111、配线108、110和绝缘层112。其中，配线108和配线110相互交叉地设置于压电基板101上，且在交叉位置处，配线108和配线110之间设置绝缘层112。其中，配线108位于配线110的下方。

在制作上述的弹性表面波装置时，为了减少工艺数量，通常会在一成膜步骤中形成梳齿电极和配线108(配线108的膜厚度与梳齿电极的膜厚度相同)，在另一成膜步骤中形成配线110。然而，由于梳齿电极的膜厚通常较薄，配线108的膜厚度减小将导致其电阻率增加，这使得声表面波器件的损耗增大。

实用新型内容

基于现有技术中的上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种能够减少声表面波器件的损耗的弹性表面波元件及具有该弹性表面波元件的弹性表面波装置及通信装置。

为此，本实用新型提供如下技术方案。

本实用新型提供了一种弹性表面波元件，所述弹性表面波元件包括压电基板、配置于所述压电基板之上的第一配线和第二配线，所述第一配线和所述第二配线交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线和所述第二配线之间隔有绝缘层，

所述第一配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第一下配线层和第一上配线层，所述第一配线具有在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层的部分和在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层的部分，

所述第一配线在俯视状态下在该第一配线与所述绝缘层重叠的区域在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层。

在至少一个实施方式中，所述第二配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第二下配线层和第二上配线层，所述第二配线具有在所述第二下配线层上层叠有所述第二上配线层的部分和在第二上配线层下未层叠有所述第二下配线层的部分，

所述第二配线在俯视状态下在该第二配线与所述绝缘层重叠的区域在第二上配线层下未层叠有所述第二下配线层。

在至少一个实施方式中，在所述第一配线与所述绝缘层不重叠的区域在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层。

在至少一个实施方式中，在所述第二配线与所述绝缘层不重叠的区域在所述第二下配线层上层叠有所述第二上配线层。

在至少一个实施方式中，所述第一下配线层设于所述压电基板与所述绝缘层之间，所述第二配线层叠于所述绝缘层之上。

在至少一个实施方式中，所述绝缘层层叠于所述第一下配线层之上，所述第二上配线层层叠于所述绝缘层之上。

在至少一个实施方式中，所述弹性表面波元件还包括第一梳齿电极、第二梳齿电极、第一焊盘、第三焊盘，