[实用新型]一种冷氢化尾气冷凝液的回收系统

说明书

本实用新型公开了一种冷氢化尾气冷凝液的回收系统，其包括四氯化硅储罐、汽化器、蒸汽加热器、一级加热器、二级加热器、三级加热器、流化床反应器、氢气源、硅粉储罐、急冷塔、空冷器、水冷器、第一氟利昂冷却器、氯硅烷储罐、尾气淋洗塔、第二氟利昂冷却器、碱淋洗塔和控制器。有益效果：本实用新型连接关系简单，易实现，实现了回收氯硅烷，避免了氯硅烷的浪费；降低了生产成本；保证了急冷塔的正常运行，进而保证了工作效率；无需人工清理，避免了清理工与高聚物接触，保证了清理工的安全；同时提高了清理效率。

技术领域：

本实用新型涉及一种回收系统，特别涉及一种冷氢化尾气冷凝液的回收系统。

背景技术：

我国现阶段制备多晶硅的工艺技术基本上都为西门子工艺技术，该工艺技术中，一个很重要的环节是四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅(制备多晶硅的原料之一)。冷氢化系统是目前国内大多数厂家采用的系统。该系统根据物料走向依次包括四氯化硅储罐、汽化器、换热器、一级加热器、二级加热器、三级加热器、流化床反应器、急冷塔、空冷器、水冷器和氟利昂冷却器；四氯化硅液体依次经过汽化器气化，换热器、一级加热器、二级加热器和三级加热器加热后形成高温气态的四氯化硅，接着将四氯化硅气体、氢气和硅粉送到流化床反应器中进行氢化，部分四氯化硅转化为三氯氢硅，其反应方程式为：3SiCl₄+Si+2H₂＝4SiHCl₃；转化后的混合气体在依次经过急冷塔、空冷器、水冷器和氟利昂冷却器冷却，得到混合的氯硅烷液体再经过分离系统分离得到三氯氢硅；该系统存在的缺陷如下：1、经过氟利昂冷却器冷却后的不凝气直接被送到碱淋洗塔进行处理，处理后的气体被排放，洗下来的液体被送到污水处理站进行水处理，浪费了气体中所含的氯硅烷，同时增加了污水处理量，增加了生产成本；2、流化床反应器内反应完后生成氯硅烷气体及少量硅粉，氯硅烷气体携带着硅粉进入急冷塔内，急冷塔内的氯硅烷液体通过循环泵对急冷塔内的混合气体喷淋降温以及去除硅粉；因进入急冷塔内的氯硅烷气体中所含硅粉较多且硅粉硬度较高，进而导致循环泵磨损严重，316材质运行周期7-12天，固含量较高的情况下运行周期为3-5天，特殊材料运行周期为8-15天，使用寿命短；且检修更换周期较长，严重影响了急冷塔正常运行；3、目前循环泵的进液口处的管线极易被硅粉等固废物堵塞，需要停止运行的急冷塔进行人工清理，因为急冷塔内的固废物含有高聚物，易燃易爆并且有毒，因此在清理时，清理工存在安全隐患。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种连接关系简单，实现了尾气中氯乙烷回收，保证了急冷塔正常运行的冷氢化尾气冷凝液的回收系统。

本实用新型由如下技术方案实施：一种冷氢化尾气冷凝液的回收系统，其包括四氯化硅储罐、汽化器、蒸汽加热器、一级加热器、二级加热器、三级加热器、流化床反应器、氢气源、硅粉储罐、急冷塔、空冷器、水冷器、第一氟利昂冷却器、氯硅烷储罐、尾气淋洗塔、第二氟利昂冷却器、碱淋洗塔和控制器；所述四氯化硅储罐、所述汽化器、所述蒸汽加热器、所述一级加热器、所述二级加热器、所述三级加热器和所述流化床反应器依次连通设置；所述硅粉储罐的出料口与所述流化床反应器的进料口连接，所述氢气源与所述流化床反应器的进气口连通；所述流化床反应器、所述急冷塔、所述空冷器、所述水冷器和所述第一氟利昂冷却器依次连通设置；所述空冷器、所述水冷器和所述第一氟利昂冷却器的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口连通；所述氯硅烷储罐的出液口与所述尾气淋洗塔的进液口通过管道连通；所述第一氟利昂冷却器的出气口与所述尾气淋洗塔的进气口通过管道连通，所述尾气淋洗塔的出液口分别与所述氯硅烷储罐和所述第二氟利昂冷却器的进液口通过管道连通，在所述尾气淋洗塔的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口之间的管道上设置有关断阀，所述第二氟利昂冷却器的出液口与所述尾气淋洗塔的进液口通过管道连通；所述尾气淋洗塔的出气口与所述碱淋洗塔的进气口通过管道连通；在所述尾气淋洗塔内设置有第一液位传感器；所述第一液位传感器的信号输出端与所述控制器的信号输入端通过信号连接；所述控制器的信号输出端与所述关断阀的信号输入端通过信号连接。