[实用新型]去胶机台

权利要求书

1.一种去胶机台，包括：

晶圆传送室，设有对准台和机械臂；

去胶工艺模块，设有去胶腔体，用于执行去胶工艺；

其中，所述晶圆传送室内还设有对完成去胶工艺后的晶圆进行冷却的冷却组件。

2.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却组件有两个以上。

3.根据权利要求1所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却组件包括：

底座；

支撑柱，设于所述底座上；

冷却盘，设于所述支撑柱上，用于放置去胶后的晶圆。

4.根据权利要求3所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却盘为金属盘。

5.根据权利要求3所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却盘为铝盘。

6.根据权利要求3所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却盘上开设冷却槽。

7.根据权利要求6所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却槽为多个同心圆环。

8.根据权利要求3所述的去胶机台，其特征在于，还包括晶圆升举单元，用于驱动晶圆上下移动。

9.根据权利要求6或7所述的去胶机台，其特征在于，还包括冷却气流组件，用于向所述冷却槽内吹入冷却气流。

10.根据权利要求9所述的去胶机台，其特征在于，所述冷却气流组件包括：

气源，用于提供冷却气体；

输气管，出气端穿过所述冷却盘进入所述冷却槽，进气端与所述气源连通。