[实用新型]太阳能电池涂覆设备

说明书

本实用新型涉及太阳能电池涂覆设备和其生产线。该涂覆设备以每小时至少2000个太阳能基片的生产量在晶体硅太阳能基片的太阳能电池第一侧和/或太阳能电池第二侧上制造薄层。本实用新型的目的是，提供对具有至少一个钝化的触点的太阳能电池的经济制造的方案。这通过一种太阳能电池涂覆设备实现，其构造成用于在太阳能电池第一侧和/或第二太阳能电池第二侧上由电介质的材料制造至少一个薄的边界层，其中，边界层是导电的、尤其通过隧道电流；在边界层上制造至少一个掺杂的或未掺杂的硅层。

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池涂覆设备，用于以每小时至少2000个太阳能基片的生产量(2000W/h)在晶体硅太阳能基片的太阳能电池第一侧和/或太阳能电池第二侧上制造薄层，并且涉及一种具有这种太阳能电池涂覆设备的太阳能生产线。

背景技术

在制造太阳能电池时使用不同的涂覆设备，其中，涂覆设备根据待制造的层序列来配备技术措施，以制造该层序列。例如梅耶博格产品是一种太阳能电池涂覆设备，用于在晶体硅太阳能电池的正面上沉积氮化硅钝化和抗反射层以及在背面沉积氧化铝和氮化硅钝化层。该设备可应用在制造PERC太阳能电池的太阳能电池生产线中。该设备的涂覆腔室配备有例如用于沉积氮化硅(SiN_x)以及用于沉积氧化铝(AlO_x)的微波等离子体源。设备的细节、例如用于特定层的线性微波等离子体源的数量如此构造，使得设备总体上具有高生产量以及以在足够大的时间间隔中的短的维护时间。

具有线性微波等离子源的连续生产设备通常用于介电层的氧化和沉积，以便在抗反射或反射层中进行钝化和/或光学干涉。具有平行板组件和喷头以均匀供气的设备可以很好地用于高纯度半导体层的均匀沉积。具有大于每小时2000个太阳能基片的高生产量的生产设备特别专门用于在其中待制造的层，这尤其是指在连续生产过程中制造多个层的设备，例如FABiA。这种太阳能电池涂覆设备使得太阳能电池制造成本特别低。

现有技术已知的、例如用于制造PERC太阳能电池的太阳能电池生产线生产太阳能电池，其效率低于实验室生产的顶级太阳能电池的效率。比主流太阳能电池更高的效率例如可通过对普通的未钝化的触点进行额外的钝化来实现，其中，必须扩展用于实现额外的制造步骤的制造方法和生产线。

DE 10 2013 219 564 A1公开了一种用于实现具有钝化的触点的太阳能电池的方案，但是没有涉及适用于实施该方法的设备技术。

实用新型内容

因此本实用新型的目的是，提供对具有至少一个钝化的触点的太阳能电池的经济制造的方案和对此合适的生产线和涂覆设备。

该目的通过一种太阳能电池涂覆设备实现，其构造成用于：

-在太阳能电池第一侧和/或太阳能电池第二侧上由电介质的材料制造至少一个薄的边界层，其中，边界层允许且少许阻碍电流、尤其隧道电流通过边界层

-在边界层上制造至少一个掺杂的或未掺杂的、尤其非晶的硅层。

此外，太阳能电池涂覆设备也还可构造成用于在至少一个硅层上制造至少一个保护层。

在此，边界层和硅层以及部分保护层可在太阳能电池涂覆设备中制成，而没有使硅太阳能基片暂时地离开太阳能电池涂覆设备。

根据本实用新型的太阳能电池涂覆设备使得能够将传统的用于制造具有非钝化的触点的PERC太阳能电池的太阳能电池生产线加装成制造具有钝化的触点的高品质太阳能电池的新的生产线。在太阳能电池的一个触点被钝化时，太阳能电池绝对效率的改进潜能约为1％，且在太阳能电池的两个触点被钝化时，太阳能电池绝对效率的改进潜能约为2％。太阳能电池涂覆设备也可以为用于具有钝化的触点的太阳能电池的、新的太阳能电池生产线的构件。为了解释本实用新型，下面从对传统的太阳能电池生产线以及传统的制造方法的描述开始进入且呈现本实用新型。