[实用新型]插片机分片用料托及插片系统有效

专利信息
申请号: 201921682929.1 申请日: 2019-10-09
公开(公告)号: CN211150517U 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 谢天泽;陆敏星;李斌全 申请(专利权)人: 无锡隆基硅材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 莎日娜
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 插片机 分片 用料 系统
【权利要求书】:

1.一种插片机分片用料托,其特征在于,所述插片机分片用料托包括托架体、衬板和伸缩件;

所述托架体包括底板、连接于所述底板的两个侧板和一个挡杆,所述两个侧板相对设置,所述挡杆在所述底板的周向上位于所述两个侧板之间,所述托架体具有与所述挡杆相对的出片端,所述衬板通过所述伸缩件设置于所述底板上,所述衬板与所述底板成夹角α,且所述伸缩件靠近所述出片端。

2.根据权利要求1所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述伸缩件包括弹簧;

所述弹簧的一端设置在所述衬板靠近所述出片端处,所述弹簧的另一端设置在所述底板上。

3.根据权利要求2所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述弹簧设置在所述衬板靠近所述出片端处的侧边的中线上。

4.根据权利要求1所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述伸缩件包括多个等间距设置的弹簧;

每个弹簧的第一端均设置在所述衬板靠近所述出片端处,每个弹簧的第二端均设置在底板。

5.根据权利要求1所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述伸缩件包括丝杆;

所述底板开设有通孔,所述通孔内壁具有与所述丝杆匹配的螺纹,所述丝杆穿过所述通孔、且与所述底板活动连接,所述丝杆的一端与所述衬板靠近所述出片端处连接。

6.根据权利要求5所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述插片机分片用料托还包括与所述丝杆相配合的螺母;

所述螺母固定在所述通孔处,且位于所述底板靠近或远离所述衬板的一侧。

7.根据权利要求5所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述丝杆的一端与所述衬板靠近所述出片端处的侧边的中线处连接。

8.根据权利要求1所述的插片机分片用料托,其特征在于,所述插片机分片用料托还包括承载板;

所述承载板位于所述底板与所述衬板之间,所述衬板的一个边缘设置在所述承载板上靠近所述挡杆处,所述伸缩件设置在所述衬板的另一相对边缘与所述承载板之间。

9.一种插片系统,其特征在于,所述插片系统包括插片机和如权利要求1至8中任一项所述的插片机分片用料托;

所述插片机包括分片部,所述插片机分片用料托设置于所述分片部,所述插片机分片用料托用于放置至少一个硅片,所述分片部用于逐片输出放置于所述插片机分片用料托的硅片。

10.如权利要求9所述的插片系统,其特征在于,所述插片机还包括与所述分片部衔接的传送部,所述传送部用于传送所述分片部输出的硅片。

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