[实用新型]一种生产多晶硅的废气回收系统

权利要求书

1.一种生产多晶硅的废气回收系统，其特征在于，其包括氢气源、氯硅烷储罐、精馏塔、第一冷凝器、储液罐、缓存罐、冷氢化系统、第一氢压机、第二冷凝器和第二氢压机；所述氢气源分别与所述氯硅烷储罐和所述精馏塔的进气口通过管道连通；所述氯硅烷储罐的出液口与所述精馏塔的进液口通过管道连通，所述精馏塔的出气口与所述第一冷凝器的进气口通过管道连通，所述第一冷凝器的出液口与所述储液罐的进液口通过管道连通，所述储液罐的出液口与所述精馏塔的进液口通过管道连通；所述第一冷凝器的出气口与所述缓存罐的进气口通过管道连通，所述缓存罐的出气口与所述冷氢化系统的进气口通过管道连通，在所述缓存罐与所述冷氢化系统之间的管道上设置有所述第一氢压机；所述冷氢化系统的出气口与所述第二冷凝器的进气口通过管道连通，所述第二冷凝器的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通，所述第二冷凝器的出气口与所述冷氢化系统的进气口通过管道连通；在所述第二冷凝器与所述冷氢化系统之间的管道上设置有所述第二氢压机。

2.根据权利要求1所述的一种生产多晶硅的废气回收系统，其特征在于，其还包括还原炉、第三冷凝器、第三氢压机、废气吸收塔、解吸塔和活性炭吸附塔；所述储液罐的出液口还与所述还原炉的进液口通过管道连通；所述氢气源与所述还原炉的进气口通过管道连通；所述还原炉的出气口与所述第三冷凝器的进气口通过管道连通，所述第三冷凝器的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通，所述第三冷凝器的出气口所述废气吸收塔的进气口通过管道连通；在所述第三冷凝器与所述废气吸收塔之间的管道上设置有所述第三氢压机；所述废气吸收塔的出液口与所述解吸塔的进液口通过管道连通；所述解吸塔的出液口分别与所述废气吸收塔和所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通；所述废气吸收塔的出气口与所述活性炭吸附塔的进气口通过管道连通，所述活性炭吸附塔的出气口与所述还原炉的进气口通过管道连通。

3.根据权利要求1或2所述的一种生产多晶硅的废气回收系统，其特征在于，所述冷氢化系统包括四氯化硅储罐、汽化器、流化床、硅粉储罐和急冷塔；所述四氯化硅储罐与所述汽化器的进液口通过管道连通；所述汽化器、所述第一氢压机和所述第二氢压机的出气口均与所述流化床的进气口通过管道连通，所述硅粉储罐的出料口与所述流化床的进料口连通；所述流化床的出气口与所述急冷塔的进气口通过管道连通，所述急冷塔的出气口与所述第二冷凝器的进气口通过管道连通。