[实用新型]具有洁净机构的IC测试分类机

说明书

本实用新型揭示了一种具有洁净机构的IC测试分类机，包括机台及设置其上的测试区、IC取放机构、移载区、托盘收集区、卸载分类区及防尘室，测试区及IC取放机构设置于防尘室内，防尘室具有入口，供托盘由移载区移入防尘室，防尘室于入口设有洁净机构，洁净机构包括固定座、气帘杆及压缩气产生器，气帘杆经由该固定座安装于防尘室内壁且位于入口上方，气帘杆具有多个通气孔，压缩气体产生器经管路连接该气帘杆，提供气体供该气帘杆由通气孔吹出，借此去除托盘上待测晶片表面所附着的微尘。

技术领域

本实用新型属于一种IC测试分类机的技术领域，尤其指增设一组洁净机构，不让外部环境微尘(particles)污染待测晶片，影响待测晶片测试结果的正确性。

背景技术

如图1所示，为传统IC分类测试机的俯视图。机台10上设有测试区11、IC取放机构12、移载区13、托盘收集区14、卸载分类区15及防尘室16。测试区11及IC取放机构12设置于防尘室16内。当要进行测试前，移载区11内多个堆叠承放晶片的托盘A，会逐一送入防尘室16内，透过IC取放机构12将待测晶片送入测试区11内的相对位置进行测试，测试完成的晶片根据测试结果送至卸载分类区15。卸载分类区15具有多个不同的托盘，可依测试结果移至相对应的托盘。由于移载区13的托盘A是位于防尘室16外，易造成外部环境微尘(Particle)污染托盘A上待测晶片，造成在测试时易发生微尘沾附晶片或探针，进而造成晶片压伤或测试不良的异常。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有洁净机构的IC测试分类机，能减少晶片测试不良异常，提升测试作业的正确性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有洁净机构的IC测试分类机，主要在机台上作为测试作业区的防尘室内另设有洁净机构。洁净机构位于托盘由外送至内部的入口，利用吹出气体去除托盘表面的外部环境微尘(particles)，避免测试时易发生微尘沾附晶片或探针，造成晶片压伤或测试不良的异常，以获得正确的测试结果。

为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：

一实施例中，提供了一种具有洁净机构的IC测试分类机，包括机台及设置其上的测试区、IC取放机构、移载区、托盘收集区、卸载分类区及防尘室。测试区及IC取放机构设置于防尘室内。防尘室具有入口供托盘由移载区移入防尘室。所述防尘室的入口设有洁净机构。洁净机构包括固定座、气帘杆及压缩气产生器，气帘杆经由固定座安装于防尘室内壁且位于入口上方，气帘杆具有多个通气孔，压缩气体产生器经管路连接该气帘杆，提供气体供该气帘杆由该通气孔吹出。

优选地，所述通气孔是面对于托盘的移动路径。

优选地，所述通气孔是斜向对应于移载区。

优选地，进一步包括位置感应器，所述位置感应器位于防尘室内，且位于托盘移动路径的一侧，所述位置感应器在托盘经过时产生一感应讯号。

优选地，进一步包括升降座，气帘杆经所述升降座安装于固定座上，所述升降座调整气帘杆的高低位置。

优选地，进一步包括导流罩，所述导流罩包覆着部份该气帘杆，所述导流罩能导引气体吹向该托盘。

优选地，进一步包括微尘感知器，所述微尘感知器安装于防尘室内且于洁净机构一侧，所述微尘感知器侦测托盘表面微尘残留量。

优选地，所述压缩气体产生器提供的气体为空气。

综上所述，本实用新型提供的具有洁净机构的IC测试分类机具有下列几项优点：

1、本实用新型利用气帘杆吹出的气体去除待测晶片表面微尘，减少外在不当因素干扰测试作业的进行，以获得正确的测试结果。

2、本实用新型位置感应器可侦测托盘是否进入，并适当运作吹气，避免浪费能源。