[实用新型]一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置

说明书

本实用新型提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。本实用新型单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，包括：环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销；所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面；所述气缸用于安装于副室上，所述气缸与所述气缸连板连接，所述气缸连板与所述第一拨销连接，所述拨板设置于环形卡板上，两个第二拨销设置于所述拨板上，所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间；所述副室定位销用于安装于隔离阀上法兰上。本实用新型克服了现有技术中采用手动操作，耗时长，操作繁琐的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，尤其涉及一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉长晶时，需将副室旋转至固定位置落下，并与隔离阀进行锁紧。在取晶环节需要使副室与隔离阀先进行分离。目前，对于隔离阀的锁紧和分离还采用手动操作，耗时长，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，以克服现有技术中采用手动操作，耗时长，操作繁琐的问题。

本实用新型提供一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，包括：

环形卡板、气缸、气缸连板、第一拨销、拨板、第二拨销及副室定位销；

所述环形卡板用于安装于副室下法兰端面；

所述气缸用于安装于副室上，所述气缸与所述气缸连板连接，所述气缸连板与所述第一拨销连接，所述拨板设置于环形卡板上，两个第二拨销设置于所述拨板上，所述第一拨销设置于所述两个第二拨销之间；

所述副室定位销用于安装于隔离阀上法兰上。

进一步地，所述副室定位销为锥销。

进一步地，所述环形卡板包括：两个半圆环卡板，所述两个半圆环卡板通过两个连接板连接。

进一步地，所述装置还包括副室提升旋转机构。

进一步地，所述装置还包括手柄，所述手柄设置于环形卡板上。

进一步地，所述拨板通过螺钉与环形卡板连接。

进一步地，所述装置还包括轴肩螺钉：所述轴肩螺钉用于安装于副室下法兰上，穿过环形卡板。

本实用新型一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置，通过气缸带动拨销驱动环形卡板上的拨销运动，从而驱动拨板带动环形卡板旋转，使得副室定位销卡紧或脱出，实现隔离阀的自动挂接和分离，解决现有技术中手动操作耗时长，操作繁琐的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的俯视图；

图2为本实用新型一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置实施例一的整体结构示意图。

其中，1-副室；2-隔离阀；3-环形卡板；4-气缸；5-拨板；6-气缸连板；7-第一拨销；8-副室定位销；9-轴肩螺钉；10-手柄；11-连接板。

具体实施方式