[实用新型]一种防水药镀膜结构有效
| 申请号： | 201921696115.3 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN210765486U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 叶小兵;孔德兴 | 申请（专利权）人： | 张家港志辰光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港保税区新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防水 镀膜 结构 | ||
1.一种防水药镀膜结构，包括箱体(1)和电子束，所述箱体(1)上端设置有基材(2)，其特征在于：还包括镀膜装置(3)，所述镀膜装置包括内衬坩埚(4)和外衬坩埚(5)，所述外衬坩埚(5)直径大于内衬坩埚(4)直径，所述内衬坩埚(4)设置在外衬坩埚(5)内底部的中央，所述外衬坩埚(5)外底部与冷凝装置上端面连接，所述内衬坩埚(4)上端面和箱体(1)下端面连通且拆卸，所述电子束位于内衬坩埚(4)和外衬坩埚(5)之间，所述电子束与外衬坩埚(5)连接且拆卸，所述电子束为环形结构，所述电子束的光束方向朝向内衬坩埚(4)外壁，所述内衬坩埚(4)和外衬坩埚(5)都为金属Mo坩埚。
2.根据权利要求1所述一种防水药镀膜结构，其特征在于：所述内衬坩埚(4)外底部设置有导热条。
3.根据权利要求1所述一种防水药镀膜结构，其特征在于：所述外衬坩埚(5)内侧设置有卡槽(6)，所述卡槽(6)的槽位朝向内衬坩埚，所述电子束外部设置有固定柱，所述固定柱嵌入卡槽(6)。
4.根据权利要求1所述一种防水药镀膜结构，其特征在于：所述电子束上端面设置有电子散热片。
5.根据权利要求1所述一种防水药镀膜结构，其特征在于：所述内衬坩埚(4)底部设置有凸块，所述外衬坩埚内底壁中央具有孔位，所述凸块嵌入孔位。
6.根据权利要求1所述一种防水药镀膜结构，其特征在于：所述箱体(1)外部设置有温度报警器(7)。
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