[实用新型]一种直拉单晶籽晶绳重锤有效
申请号: | 201921696709.4 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN210945853U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 栗宁 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 胡建华 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶 籽晶 重锤 | ||
本实用新型公开了一种直拉单晶籽晶绳重锤,包括配重块、上罩锥以及下罩锥;所述配重块为圆柱体,其上端设有柱状的上连接柱,下端设有柱状的下连接柱;所述上罩锥内部设有与上连接柱匹配的上连接柱凹槽,下罩锥内部设有与下连接柱匹配的下连接柱凹槽;所述上连接柱侧壁留有上连接柱通槽,下连接柱侧壁留有下连接柱通槽;所述上罩锥内壁设有上罩锥通槽,下罩锥内壁设有下罩锥通槽;上连接柱与上罩锥通过上插销贯穿上罩锥通槽、上连接柱通槽进行连接;下连接柱与下罩锥通过下插销贯穿下罩锥通槽、下连接柱通槽进行连接;所述上罩锥顶部连接有籽晶绳,下罩锥底部连接有籽晶杆。
技术领域
本实用新型属于单晶硅制备领域,具体涉及一种直拉单晶籽晶绳重锤。
背景技术
直拉法生产硅单晶工艺中,一般采用钢、钨制软绳作为牵引提拉晶体的缆绳,重锤作为连接籽晶绳和籽晶的部件,主要作用一是增加籽晶绳配重,保证籽晶绳垂直,二是夹持籽晶。重锤一般采用钨钼材质,夹持籽晶部分一般为石墨材质,两者螺纹连接。拉晶过程中,由于高温外加氧化气体氧化,长时间造成籽晶绳氧化变脆,会发生断裂事故,钨钼和石墨的螺纹连接长期使用后容易磨损,石墨螺纹脱扣,也容易发生掉落事故。金属重锤使用过程扩散污染晶体,造成品质降低。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供能够避免籽晶绳使用过程中被高温氧化的重锤结构。
为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案如下:
一种直拉单晶籽晶绳重锤,包括配重块、上罩锥以及下罩锥;所述配重块为圆柱体,其上端设有柱状的上连接柱,下端设有柱状的下连接柱;所述上罩锥内部设有与上连接柱匹配的上连接柱凹槽,下罩锥内部设有与下连接柱匹配的下连接柱凹槽;所述上连接柱侧壁留有上连接柱通槽,下连接柱侧壁留有下连接柱通槽;所述上罩锥内壁设有上罩锥通槽,下罩锥内壁设有下罩锥通槽;上连接柱与上罩锥通过上插销贯穿上罩锥通槽、上连接柱通槽进行连接;下连接柱与下罩锥通过下插销贯穿下罩锥通槽、下连接柱通槽进行连接;
所述上罩锥顶部连接有籽晶绳,下罩锥底部连接有籽晶杆。
具体地,所述籽晶绳通过端子夹头连接在上罩锥的内部;
所述端子夹头为圆锥体,其底部中心自下而上依次设有籽晶绳卡槽和籽晶绳通槽,侧面开有缺口;上罩锥底部中心自下而上依次设有上连接柱凹槽、端子夹头容纳槽以及籽晶绳穿槽;
所述籽晶绳的端部为球形端子,其尺寸小于籽晶绳穿槽、缺口、籽晶绳卡槽,大于籽晶绳通槽;籽晶绳从上罩锥顶部穿过籽晶绳穿槽,球形端子穿过端子夹头的缺口进入籽晶绳卡槽内,并卡合在籽晶绳通槽底部,端子夹头卡入上罩锥的端子夹头容纳槽内,从而将籽晶绳与上罩锥连接。
具体地,所述下罩锥顶部中心自上而下依次设有下连接柱凹槽、籽晶杆端头容纳槽以及籽晶杆穿槽;所述籽晶杆端头尺寸大于籽晶杆和籽晶杆穿槽,小于籽晶杆端头容纳槽;
籽晶杆从下罩锥顶部下连接柱凹槽穿入,依次穿过籽晶杆端头容纳槽和籽晶杆穿槽,并从下罩锥底部穿出,籽晶杆端头卡在端头容纳槽内,从而将籽晶杆于下罩锥连接。
优选地,所述配重块材质为高纯等静压石墨或涂层等静压石墨。
所述上罩锥和下罩锥材质为高纯石英或高纯陶瓷。
所述上插销和下插销为圆柱体,材质为高纯等静压石墨或涂层等静压石墨。
所述端子夹头材质为高纯钼或钨。
有益效果:
本实用新型直拉单晶籽晶绳重锤组装方便快捷,籽晶绳通过端子夹头连接上罩锥,籽晶杆卡接在下罩锥内,能够避免籽晶绳使用过程中被高温氧化;上罩锥、下罩锥分别通过插销与中部的配重块连接,插销式连接强度高,不易断裂;重锤各组件材料纯度高,能够提高晶体品质。
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