[实用新型]一种取料单元及固晶机有效
申请号: | 201921700048.8 | 申请日: | 2019-10-09 |
公开(公告)号: | CN211017013U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 许崇毅;庞剑华;孙洁;万铜锤;刘东成;张晋 | 申请(专利权)人: | 深圳市盛世智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单元 固晶机 | ||
1.一种取料单元,其特征在于,还包括有驱动装置、平行度调节装置和取料头,所述平行度调节装置包括有第一安装板和第二安装板,所述第一安装板设置在所述驱动装置的输出端上,所述第一安装板和第二安装板之间的平行度可调,所述取料头固定在所述第二安装板上,所述驱动装置能够驱使所述取料头作直线往复运动。
2.根据权利要求1所述的取料单元,其特征在于,还包括有压力传感器,所述压力传感器能够检测所述取料头将物料贴放在载体上的力。
3.根据权利要求2所述的取料单元,其特征在于,所述压力传感器设置在所述第一安装板与所述驱动装置的输出端之间。
4.根据权利要求3所述的取料单元,其特征在于,所述第一安装板与所述驱动装置的输出端滑动连接,且所述第一安装板相对所述驱动装置的输出端的滑动方向与所述取料头作直线往复运动的方向平行。
5.根据权利要求1所述的取料单元,其特征在于,所述平行度调节装置还包括滚珠、第一弹性元件和紧定螺钉,所述滚珠夹持在所述第一安装板和第二安装板之间,所述第二安装板能够绕所述滚珠转动,所述第一弹性元件给予所述第二安装板一个靠近所述第一安装板的弹性力,所述紧定螺钉与第一安装板螺纹连接,所述紧定螺钉的一端与第二安装板抵持。
6.根据权利要求5所述的取料单元,其特征在于,所述平行度调节装置还包括有螺钉,所述第一弹性元件为第一弹簧,所述第一安装板上设置有通孔,所述螺钉穿过所述通孔后,与所述第二安装板螺纹连接,所述第一弹簧套接在所述螺钉上,所述第一弹簧的一端与所述第一安装板远离所述第二安装板的一面抵持,所述第一弹簧的另一端与所述螺钉抵持。
7.一种固晶机,其特征在于,包括有如权利要求1至6任一项所述的取料单元。
8.根据权利要求7所述的固晶机,其特征在于,还包括有固定座,所述驱动装置为音圈电机,所述音圈电机包括有安装架、线圈和磁铁,所述安装架上设置有容置槽,所述线圈固定在所述容置槽中,所述磁铁固定在所述固定座上。
9.根据权利要求8所述的固晶机,其特征在于,所述取料单元设置有两个及以上,分别属于两个及以上的所述音圈电机的所述安装架并列设置在所述固定座上,所述磁铁横跨在分别属于两个及以上的所述音圈电机的所述线圈上。
10.根据权利要求8所述的固晶机,其特征在于,所述线圈设置有两个及以上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造