[实用新型]一种晶托晶棒定位装置

权利要求书

1.一种晶托晶棒定位装置，其特征在于，包括：

基座(10)；

定位板(20)，所述定位板(20)设在所述基座(10)上；

顶紧结构，所述顶紧结构包括第一顶紧结构和第二顶紧结构，所述第一顶紧结构和所述第二顶紧结构分别沿所述基座(10)的长度方向可移动以靠近或远离所述定位板(20)，所述第一顶紧结构和所述第二顶紧结构可振动。

2.根据权利要求1所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述定位板(20)沿所述基座(10)的长度方向可移动以远离或靠近所述顶紧结构。

3.根据权利要求1所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，还包括：

定位座(30)，所述定位座(30)设在所述基座(10)上，所述定位座(30)上设有沿所述基座(10)的长度方向贯穿的贯穿孔；

调节杆(40)，所述调节杆(40)的一端可移动地穿过所述贯穿孔与所述定位板(20)连接。

4.根据权利要求3所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述定位座(30)上设有与所述贯穿孔连通的螺孔，所述螺孔中穿设有螺栓(31)，所述螺栓(31)的一端可止抵或远离所述调节杆(40)。

5.根据权利要求4所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述定位座(30)和所述调节杆(40)分别具有两个，两个所述定位座(30)沿所述基座(10)的宽度方向间隔开设置，每个所述调节杆(40)的一端分别穿过相应的所述定位座(30)上的所述贯穿孔与所述定位板(20)连接。

6.根据权利要求1所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述顶紧结构还包括：

支撑座(50)，所述第一顶紧结构和所述第二顶紧结构设在所述支撑座(50)上且沿所述基座(10)的长度方向可移动。

7.根据权利要求6所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述第一顶紧结构包括第一顶紧件(60)和第一马达(61)，所述支撑座(50)上设有沿所述基座(10)的长度方向贯穿的第一通孔，所述第一顶紧件(60)的一端穿过所述第一通孔，所述第一马达(61)与所述第一顶紧件(60)的另一端连接以驱动所述第一顶紧件(60)的一端靠近或远离所述定位板(20)；

所述第二顶紧结构包括第二顶紧件(70)和第二马达(71)，所述支撑座(50)上设有沿所述基座(10)的长度方向贯穿的第二通孔，所述第二顶紧件(70)的一端穿过所述第二通孔，所述第二马达(71)与所述第二顶紧件(70)的另一端连接以驱动所述第二顶紧件(70)的一端靠近或远离所述定位板(20)。

8.根据权利要求7所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述第一通孔与所述第二通孔沿所述支撑座(50)的高度方向间隔开设置。

9.根据权利要求6所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，所述顶紧结构包括多个，多个所述顶紧结构沿所述基座(10)的宽度方向间隔开设置。

10.根据权利要求6所述的晶托晶棒定位装置，其特征在于，还包括：

振动马达(80)，所述振动马达(80)与所述基座(10)或所述支撑座(50)相连以带动所述基座(10)或所述支撑座(50)振动。