[实用新型]一种霍尔离子源

权利要求书

1.一种霍尔离子源，包括反应室，其特征在于，所述反应室包括第一反应室、第二反应室、第三反应室，所述第二反应室分别与所述第一反应室、第三反应室相连；

所述第一反应室包括磁钢模块，所述磁钢模块包括多块同轴设置的磁钢元件；

所述第二反应室包括阳极模块；

所述第三反应室包括阴极元件；

所述磁钢模块、所述阳极模块、所述阴极元件相对设置。

2.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述阳极模块包括多块同轴设置的阳极元件。

3.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，相邻的所述磁钢元件之间设置有相互配合的第一凸起部、第一凹槽部。

4.根据权利要求2所述的一种霍尔离子源，其特征在于，相邻的所述阳极元件之间设置有相互配合的第二凸起部、第二凹槽部。

5.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述第一反应室还包括第一壳体、盖体、基座、气体分配器，所述第一壳体的两端分别与所述基座、所述盖体固定连接，所述基座上开设有第一气孔，所述盖体上设置有第二气孔，所述气体分配器设置在所述盖体上并与所述第二气孔连通，所述磁钢模块设置在所述基座上。

6.根据权利要求5所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述气体分配器由导磁材料制成。

7.根据权利要求5所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述盖体与所述第一壳体之间设置有绝缘密封环。

8.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述第二反应室还包括第二壳体、扩张杯，所述扩张杯与所述第二壳体固定连接，所述扩张杯与所述阳极模块相对设置。

9.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述第三反应室还包括第三壳体、进气过滤泵、出气过滤泵、基板，所述进气过滤泵、所述出气过滤泵、所述基板均安装在所述第三壳体上，所述基板与所述阴极元件相对设置。

10.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源，其特征在于，所述阴极元件包括钨丝、阴极接线柱，所述钨丝固定在所述阴极接线柱上。