[实用新型]一种用于瞬态热阻测试的夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，包括底座，通过在底板中心处固定设有夹持板，顶板和底板的另一侧设有第二侧板，顶板的上对称设有拉力表，拉力表上连接有拉绳，活动板上对称设有固定环，拉绳与固定环连接，活动板下方设有夹块，使用时，将测试器件放置在夹持板上，转动螺纹杆，使其在滑块与滑槽的配合下推动活动板向下移动，在推动时，即可通过拉力表测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板的压力，有益效果：这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

技术领域

本实用新型涉及热阻测试夹持技术领域，具体来说，涉及一种用于瞬态热阻测试的夹持装置。

背景技术

在半导体器件工艺生产过程中，为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量(热阻)，一般采用瞬态热阻测试的筛选方法。该方法是向待测半导体器件施加单一功率脉冲，并在脉冲结束后测量热敏参数，推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量(烧结热阻)的好坏。瞬态热阻的测试能够满足半导体器件工艺生产中的100％筛选，主要剔除那些因芯片烧结质量不合格而导致热阻偏大的器件。在对半导体器件进行瞬态热阻测试时需要对其进行夹持固定，为了保证该半导体器件能够正常工作，需要严格控制夹持装置对半导体器件的夹持力，现有夹持装置往往夹持力过大，压碎芯片，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，包括底座，所述底座上设有第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有第二支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆通过调节装置连接，所述第二支撑杆的一端设有第一侧板，所述第一侧板的两端分别设有顶板和底板，所述顶板和所述底板均与所述第一侧板固定连接，所述底板中心处固定设有夹持板，所述顶板和所述底板的另一侧设有第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板之间设有活动板，所述活动板的两端均设有滑块，所述第一侧板和所述第二侧板位于所述滑块的一侧壁上均设有滑槽，所述滑块与所述滑槽相匹配，所述顶板中心处设有螺纹套，所述螺纹套内设有螺纹杆，所述顶板的上对称设有拉力表，所述拉力表上连接有拉绳，所述活动板上对称设有固定环，所述拉绳与所述固定环连接，所述活动板下方设有夹块。

进一步的，所述调节装置包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板之间设有紧固轴。

进一步的，所述活动板位于所述螺纹杆下方的位置设有固定板，所述固定板中心处设有螺纹槽。

进一步的，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆的材质均为不锈钢。

进一步的，所述底座下方对称设有安装钉。

本实用新型提供了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，有益效果如下：

（1）、通过在底板中心处固定设有夹持板，顶板和底板的另一侧设有第二侧板，第一侧板和第二侧板之间设有活动板，活动板的两端均设有滑块，第一侧板和第二侧板位于滑块的一侧壁上均设有滑槽，滑块与滑槽相匹配，顶板中心处设有螺纹套，螺纹套内设有螺纹杆，顶板的上对称设有拉力表，拉力表上连接有拉绳，活动板上对称设有固定环，拉绳与固定环连接，活动板下方设有夹块，使用时，将测试器件放置在夹持板上，转动螺纹杆，使其在滑块与滑槽的配合下推动活动板向下移动，在推动时，即可通过拉力表测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板的压力，这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。