[实用新型]一种便于快速上下料的光学真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，镀膜机箱的底端设有机箱固定台，机箱固定台的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，机箱固定台的一侧设有控制柜，镀膜机箱的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱，液压缸固定箱内安装有液压缸，该真空镀膜机可以将镀膜箱底部的机箱密封底座伸出，并能将底座上连接的抽拉板伸出到镀膜机的底部前面，便于工作人员直接将镀膜件放在顶部的托盘上，也便于更换不同类型的坩埚，提高上料和下来的速度，节约时间，而且减少人工搬运，节约成本，当机箱密封底座复位到镀膜箱底部的时候，通过橡胶气囊密封箱内的橡胶气囊注气进行密封，提高效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种便于快速上下料的光学真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，但是现有的真空镀膜机功能单一，不能实现快速上下料，往往都需要把较重的镀膜件搬运到镀膜机上，而镀膜机有一定的高度，镀膜件的数量多，实行人工直接上料，不仅效率低，速度慢，而且增加人工成本，而且现有的真空镀膜机的密封性能差，影响镀膜质量。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，所述镀膜机箱的底端设有机箱固定台，所述机箱固定台的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述机箱固定台的一侧设有控制柜，所述镀膜机箱的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱，所述液压缸固定箱内安装有液压缸，所述液压缸的底端安装有机箱密封底座，所述镀膜机箱的顶端两侧均设有液压制动箱，所述镀膜机箱的顶端中部安装有抽真空装置，所述机箱固定台的一端顶部安装有冷凝箱，所述冷凝箱上连接有冷凝管，所述机箱固定台的另一端顶部安装有加热器，所述加热器上连接有热风管，所述镀膜机箱的底部四周均安装有橡胶气囊密封箱，所述橡胶气囊密封箱的一侧安装有微型气泵，所述机箱密封底座上设有抽拉板，所述抽拉板的顶部设有密封条，所述抽拉板的两侧均设有活动销，所述抽拉板的底部安装有电机，所述电机的顶部连接有转杆，所述转杆上焊接有若干个转盘，所述机箱密封底座的一侧安装有电动伸缩杆，所述镀膜机箱的一侧设有可视窗，另一侧设有若干个电子枪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压缸固定箱焊接在所述镀膜机箱上，所述液压制动箱通过螺栓安装在所述镀膜机箱的顶部上，所述液压缸的一端通过螺栓安装在所述液压制动箱内，另一端通过螺栓与所述机箱密封底座固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制柜、冷凝箱和加热器均通过螺栓固定在所述机箱固定台上，所述冷凝箱通过冷凝管与镀膜机箱相连，所述加热器通过热风管与镀膜机箱相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述橡胶气囊密封箱为环形箱体，并焊接在所述镀膜机箱的底部，所述橡胶气囊密封箱内部安装有橡胶气囊，所述橡胶气囊与微型气泵通过输气管相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽拉板通过活动销与所述机箱密封底座活动相连，所述电机通过螺栓固定在所述抽拉板的底部上，所述转杆通过联轴器和轴承与所述电机的转轴固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电子枪通过螺栓安装在所述镀膜机箱的背面，所述密封条通过螺丝固定在所述抽拉板上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述扩散泵与所述镀膜机箱的真空室相连，所述冷凝箱内设有水箱和冷凝器，所述冷凝管的首尾均与所述水箱相连，所述电子枪设有正负两极。