[实用新型]一种方便使用的薄片晶体镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201921714747.8 申请日: 2019-10-14
公开(公告)号: CN210856316U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 黄荣生 申请(专利权)人: 福州弘星光电技术有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C30B23/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350000 福建省福州市仓*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 方便 使用 薄片 晶体 镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,包括镀膜装置整体(1)与镀膜室(5),其特征在于:所述镀膜装置整体(1)的下端固定安装有底座(2),且镀膜装置整体(1)的一侧活动安装有透明密封门(3),所述镀膜装置整体(1)的前端外表面活动安装有活动门(4),所述镀膜室(5)的下端靠近底座(2)上端的位置固定安装有支撑柜(6),且镀膜室(5)的一侧靠近透明密封门(3)一侧的位置固定安装有操控室(8),所述操控室(8)的下端靠近支撑柜(6)一侧的位置固定安装有线路连接箱(7),且操控室(8)的前端外表面靠近活动门(4)一侧的位置固定安装有显示屏(9),所述镀膜室(5)的内表面活动安装有连接轴(10),且连接轴(10)的内表面固定安装有拆卸晶体放置槽(11),所述拆卸晶体放置槽(11)的下端活动安装有修正板(12),且修正板(12)的下方靠近镀膜室(5)下端的位置安装有挡板(13),所述挡板(13)的一侧靠近镀膜室(5)中间的位置固定安装有离子枪(14),所述支撑柜(6)的内表面固定安装有信号接收器(15),且信号接收器(15)的下方安装有传感器(16),所述线路连接箱(7)的内表面靠近传感器(16)下方的位置安装有线路板(17),且线路板(17)的一侧靠近线路连接箱(7)一侧的位置固定安装有线路控制阀(18),所述镀膜室(5)的下端通过支撑柜(6)的上端与底座(2)上端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述底座(2)的下端固定安装有支腿,支腿的数量为四组。

3.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述操控室(8)的一侧靠近透明密封门(3)一侧的位置活动安装有铰链,铰链的数量为若干组。

4.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述支撑柜(6)的前端外表面活动安装有双开门,双开门的前端外表面固定安装有手把,手把的数量为五组。

5.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述显示屏(9)的一侧固定安装有仪表盘,仪表盘的数量为两组,仪表盘的下方安装有指示灯,指示灯的下方安装有控制按钮,控制按钮的数量为六组。

6.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述操控室(8)、显示屏(9)、离子枪(14)、信号接收器(15)与传感器(16)均与镀膜装置整体(1)电性连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州弘星光电技术有限公司,未经福州弘星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921714747.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top