[实用新型]一种方便使用的薄片晶体镀膜装置有效
申请号: | 201921714747.8 | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN210856316U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 黄荣生 | 申请(专利权)人: | 福州弘星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C30B23/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350000 福建省福州市仓*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方便 使用 薄片 晶体 镀膜 装置 | ||
1.一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,包括镀膜装置整体(1)与镀膜室(5),其特征在于:所述镀膜装置整体(1)的下端固定安装有底座(2),且镀膜装置整体(1)的一侧活动安装有透明密封门(3),所述镀膜装置整体(1)的前端外表面活动安装有活动门(4),所述镀膜室(5)的下端靠近底座(2)上端的位置固定安装有支撑柜(6),且镀膜室(5)的一侧靠近透明密封门(3)一侧的位置固定安装有操控室(8),所述操控室(8)的下端靠近支撑柜(6)一侧的位置固定安装有线路连接箱(7),且操控室(8)的前端外表面靠近活动门(4)一侧的位置固定安装有显示屏(9),所述镀膜室(5)的内表面活动安装有连接轴(10),且连接轴(10)的内表面固定安装有拆卸晶体放置槽(11),所述拆卸晶体放置槽(11)的下端活动安装有修正板(12),且修正板(12)的下方靠近镀膜室(5)下端的位置安装有挡板(13),所述挡板(13)的一侧靠近镀膜室(5)中间的位置固定安装有离子枪(14),所述支撑柜(6)的内表面固定安装有信号接收器(15),且信号接收器(15)的下方安装有传感器(16),所述线路连接箱(7)的内表面靠近传感器(16)下方的位置安装有线路板(17),且线路板(17)的一侧靠近线路连接箱(7)一侧的位置固定安装有线路控制阀(18),所述镀膜室(5)的下端通过支撑柜(6)的上端与底座(2)上端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述底座(2)的下端固定安装有支腿,支腿的数量为四组。
3.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述操控室(8)的一侧靠近透明密封门(3)一侧的位置活动安装有铰链,铰链的数量为若干组。
4.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述支撑柜(6)的前端外表面活动安装有双开门,双开门的前端外表面固定安装有手把,手把的数量为五组。
5.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述显示屏(9)的一侧固定安装有仪表盘,仪表盘的数量为两组,仪表盘的下方安装有指示灯,指示灯的下方安装有控制按钮,控制按钮的数量为六组。
6.根据权利要求1所述的一种方便使用的薄片晶体镀膜装置,其特征在于:所述操控室(8)、显示屏(9)、离子枪(14)、信号接收器(15)与传感器(16)均与镀膜装置整体(1)电性连接。
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