[实用新型]一种微孔薄膜表面沉积装置及微孔薄膜、二次电池有效
申请号: | 201921720333.6 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN211645374U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 王晓明;魏凤杰 | 申请(专利权)人: | 江苏卓高新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/40 |
代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 吴筱娟 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微孔 薄膜 表面 沉积 装置 二次 电池 | ||
1.一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,包括:
箱体,所述微孔薄膜从所述箱体中部穿过,所述箱体具有若干第一区域和若干第二区域,所述第一区域和所述第二区域交替设置;
若干通气管,所述通气管均匀分布在所述微孔薄膜的上方,所述通气管插入所述箱体,所述通气管用于连接气源并向所述微孔薄膜表面通气,所述通气管包括:
第一通气管,所述第一通气管设置在所述第一区域内,所述第一通气管用于向所述箱体内通入第一反应气体;
第二通气管,所述第二通气管设置在所述第二区域内,所述第二通气管用于向所述箱体内通入第二反应气体。
2.根据权利要求1所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述箱体还包括:
若干第三区域,所述第三区域设置在任意一对的所述第一区域和所述第二区域之间。
3.根据权利要求2所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述通气管还包括:第三通气管,所述第三通气管设置在所述第三区域内,所述第三通气管用于向所述箱体内通入非反应气体。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述通气管与所述微孔薄膜表面之间的距离为0.2-2cm。
5.根据权利要求1所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述箱体还包括:
红外线加热装置,所述红外线加热装置对箱体内部进行加热,保证所述箱体内的所述第一反应气体和所述第二反应气体的反应温度。
6.根据权利要求1所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述箱体还包括:
入口,所述入口设置在所述箱体的侧面,所述入口用将于所述微孔薄膜引入所述箱体;
出口,所述出口设置在所述箱体的另一侧面,所述出口与所述入口相对设置,所述出口用于将所述微孔薄膜引出所述箱体。
7.根据权利要求6所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述入口包括:
第一夹紧辊,所述第一夹紧辊用于将所述微孔薄膜夹紧。
8.根据权利要求6所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述出口包括:
第二夹紧辊,所述第二夹紧辊用于将所述微孔薄膜夹紧。
9.根据权利要求1所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述微孔薄膜表面沉积装置还包括:
吸气装置,所述吸气装置设置在所述微孔薄膜的下方,所述吸气装置用于将箱体内的气体吸出箱体。
10.根据权利要求9所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述吸气装置包括:
吸气管,所述吸气管对准所述微孔薄膜表面,用于吸收所述从所述微孔薄膜上的细孔中穿过的气体,所述吸气管插入所述箱体;
吸气泵,所述吸气泵设置在所述箱体外,所述吸气泵连接所述吸气管。
11.根据权利要求10所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述吸气管与所述微孔薄膜表面之间的距离为0.2-2cm。
12.根据权利要求10所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述吸气管的端部为喇叭状。
13.根据权利要求1所述的一种微孔薄膜表面沉积装置,其特征在于,所述微孔薄膜表面沉积装置还包括:
抽真空装置,所述抽真空装置连接所述箱体。
14.一种微孔薄膜,其特征在于,采用如权利要求1-13中任一项所述的一种微孔薄膜表面沉积制成。
15.一种二次电池,其特征在于,具有如权利要求14所述的一种微孔薄膜。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的