[实用新型]一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘

说明书

本实用新型公开了一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其结构包括安装环、连接管、通口、连接罩、压力盘、密封连接片、抛光盘、第一陶瓷盘、第二陶瓷盘、水管、第一水路和第二水路，该可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。

技术领域

本实用新型涉及抛光机技术领域，具体涉及一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘。

背景技术

抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽(消光)，通常以抛光轮作为抛光工具，抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂，需要对进行抛光时需要使用抛光机，压力盘是抛光机内部不可缺少的部件。

当加工时，现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘粘贴晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。

(二)技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，包括安装环、密封连接片和水管，所述安装环紧密固定在连接管上端，并且连接管内侧开设有通口，所述连接管底部与连接罩进行固定，所述连接罩底部与压力盘进行连接，所述密封连接片上下两端分别与压力盘和抛光盘紧密粘附，所述抛光盘底部分别与第一陶瓷盘和第二陶瓷盘进行固定，所述水管竖直伸入通口内侧，并且水管底部与第一水路和第二水路进行连接，所述第一水路和第二水路紧固在压力盘中部。

进一步的，所述安装环外径与连接管相同，并且安装环和连接管相互平行安装。

进一步的，所述密封连接片厚度为3mm，并且密封连接片外径是压力盘和抛光盘外径的百分之九十。

进一步的，所述压力盘和抛光盘外径相同，并且压力盘和抛光盘厚度相同。

进一步的，所述第一陶瓷盘和第二陶瓷盘大小相同，并且第一陶瓷盘和第二陶瓷盘相互平行安装。

进一步的，所述水管外径是通口内径的三分之二。

进一步的，所述第一水路和第二水路相互交错安装，并且第一水路和第二水路分为上下两层，上水路冷水下水路为热水，上水路连接处为凸反之为凹。

(三)有益效果

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的结构示意图；