[实用新型]一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置

权利要求书

1.一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：包括底板(1)、至少三个夹持杆(2)、设于夹持杆(2)一端的硅片夹持球(5)、用于调整夹持杆(2)周向位移的周向组件(30)和用于调整周向组件(30)沿夹持杆(2)轴向方向位移的轴向组件(40)，其中各夹持杆(2)于底板(1)上表面的竖直方向上的投影延长线相交于同一点，所述硅片夹持球(5)的外球面由多个平面拼接而成。

2.根据权利要求1所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述轴向组件(40)包括铰接管(4)，所述铰接管(4)的一端与底板(1)铰接连接，所述周向组件(30)包括转动杆(3)，所述转动杆(3)的一端插设于铰接管(4)内，且与铰接管(4)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述转动杆(3)远离铰接管(4)的一端开设有供所述夹持杆(2)一端插设的转动孔(31)，所述夹持杆(2)与所述转动杆(3)转动连接。

4.根据权利要求3所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述转动孔(31)的内壁开设有若干个环形的放置槽(32)，各所述放置槽(32)沿转动杆(3)轴向等距排布，所述放置槽(32)内放置有橡胶圈(33)。

5.根据权利要求2所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述铰接管(4)与所述底板(1)的铰接接触位置设有橡胶垫(11)。

6.根据权利要求3所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述夹持杆(2)远离转动杆(3)的端面沿夹持杆(2)轴向方向延伸固定有两个支撑臂(21)，所述硅片夹持球(5)固定有穿过硅片夹持球(5)圆心的转轴(51)，所述转轴(51)的两端分别与一个支撑臂(21)转动连接。

7.根据权利要求6所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述支撑臂(21)的侧壁开设有供所述转轴(51)的一端沿所述夹持杆(2)轴向滑移的滑槽(22)，所述夹持杆(2)上远离转动杆(3)的端面上开设有供硅片夹持球(5)外表面抵触的凹坑(24)，所述凹坑(24)的凹陷面为半球面，所述滑槽(22)内放置有抵触于转轴(51)一端且迫使硅片夹持球(5)朝向凹坑(24)的凹陷面方向移动的弹簧(23)。

8.根据权利要求7所述的用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，其特征是：所述凹坑(24)的凹陷面覆盖有弹性层(25)，所述弹性层(25)的表面设有若干道交错的划痕(26)。