[实用新型]一种工业管道加热用直角管加热带

说明书

本实用新型公开了一种工业管道加热用直角管加热带，包括外包覆层布，所述固定布表面自左往右依次分为左侧直管区、中间直角管区和右侧直管区，所述左侧直管区和右侧直管区的表面均通过抗高温线压脚固定连接有直管区加热丝组，所述直管区加热丝组由横向串联排列的加热丝组成，所述中间直角管区的表面均通过加粗抗高温压脚固定连接有直角管区加热组，所述直角管区加热组由纵向串联排列的加热丝组成，位于直管区加热丝组的加热丝与位于直角管区加热组串联，所述加粗抗高温压脚设于直角管区加热组的中间区域；本实用新型通过固定布内设有的直管区加热丝组和直角管区加热组，可以有效的解决背景技术中的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备领域，具体为一种工业管道加热用直角管加热带。

背景技术

在半导体镀膜工艺过程中，有多种气体透过管路通入腔室。为避免气体冷凝，需要对气体管路进行加热以保持温度，现有技术中，直管和直角管多是采用同一种加热带，即加热带内的加热丝横向串联排列，并通过玻璃纤维缝纫线固定，在对直角管进行加热时，加热带包覆在管道外壁，而处于直角区域的加热带内部的加热丝弯曲接近直角，致使固定住加热丝的玻璃纤维缝纫线所承受的加热丝向外弯曲的弯力大，长时间使用会导致其松动无法固定住加热丝的位置，甚至崩断，致使直角区域加热不均匀，气体结晶，管道堵塞，且直角区域内的气体相对于直管区内的气体多些，即直角区域所需要的加热强度要大些，往往传统的加热带对于直角区域的内侧加热强度不够，现有的加热带无法解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的提供一种工业管道加热用直角管加热带，通过固定布表面面自左往右依次分为左侧直管区、中间直角管区和右侧直管区，左侧直管区和右侧直管区的表面均通过抗高温线压脚固定连接有直管区加热丝组，直管区加热丝组由横向串联排列的加热丝组成，中间直角管区的表面均通过加粗抗高温压脚固定连接有直角管区加热组，直角管区加热组由纵向串联排列的加热丝组成，位于直管区加热丝组的加热丝与位于直角管区加热组串联，可以有效的解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种工业管道加热用直角管加热带，包括外包覆层布，所述外包覆层布内表面填充有保温层，所述保温层上方设有加热层，所述加热层由固定布和加热丝组成，所述加热丝两端通过串联固温保护开关和热保险丝电性连接有外设电源线，所述保温层上方设有内胆布，所述内胆布靠近保温的一侧设有复数个温度传感器，所述温度传感器与位于外包覆层布外侧设有的控制器电性连接，所述内胆布顶部两侧与外包覆层布缝合，所述外包覆层布两侧外表面通过魔法贴粘合，

所述固定布表面面自左往右依次分为左侧直管区、中间直角管区和右侧直管区，所述左侧直管区和右侧直管区的表面均通过抗高温线压脚固定连接有直管区加热丝组，所述直管区加热丝组由横向串联排列的加热丝组成，所述中间直角管区的表面均通过加粗抗高温压脚固定连接有直角管区加热组，所述直角管区加热组由纵向串联排列的加热丝组成，位于直管区加热丝组的加热丝与位于直角管区加热组串联，所述加粗抗高温压脚设于直角管区加热组的中间区域。

进一步的，所述抗高温线压脚和加粗抗高温压脚均选用玻璃纤维缝纫线，所述抗高温线压脚选用的玻璃纤维缝纫线直径小于所述加粗抗高温压脚均选用的玻璃纤维缝纫线直径。

进一步的，所述加热丝外表面套设有布套，所述布套选用玻璃纤维制成。

进一步的，所述外包覆层布和内胆布外表面均涂有特氟龙。