[实用新型]一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置

权利要求书

1.一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于：所述气氛保护装置包括一密闭腔体(18)，所述腔体(18)顶部设有供激光透过的玻璃视窗(4)；所述腔体上部绕有冷凝管(2)；所述腔体(18)内设有试样台(7)；所述腔体(18)内设有上进气环(3)和下进气环(8)；所述上进气环(3)通过第二进气管(11)与外部气源(1)连接；所述下进气环(8)通过第一进气管(10)与外部气源(1)连接；所述第一进气管(10)上设有第一进气阀门(14)；所述第二进气管(11)上设有第二进气阀门(15)，分别用于控制下进气环(8)和上进气环(3)的气体流量；所述腔体上设有第一出气口(12)、第二出气口(13)；所述第一出气口(12)上设有第一单向出气阀(16)；所述第二出气口(13)上设有第二单向出气阀(17)；所述腔体(18)上设有内部气压指示表(9)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述腔体呈二级凸台式上端小下端大结构。

3.根据权利要求1所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述气氛保护装置的冷凝管(2)通过水泵(5)与水箱(6)连接，构成水冷循环系统。

4.根据权利要求1所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述上进气环(3)的上部和下部均设有六个气体出口，所述上部的气体出口呈一定角度向斜上方吹气，所述下部的六个气体出口竖直向下吹气。

5.根据权利要求1所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述下进气环(8)下侧均匀分布六个气体出口竖直向下吹气。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述玻璃视窗(4)的材料为耐高温石英玻璃。

7.根据权利要求1-5任一项所述的一种应用于激光辐照制备涂层的气氛保护装置，其特征在于，所述外部气源(1)供应的气体为氩气、氮气、氦气。