[实用新型]一种工业管道加热用直管加热带有效
申请号: | 201921722887.X | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN210637673U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 揣士敬;方刚;袁理;彭凤飞;朱念祖 | 申请(专利权)人: | 合肥亚笙半导体设备科技有限公司 |
主分类号: | F16L53/38 | 分类号: | F16L53/38 |
代理公司: | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 孟祥龙 |
地址: | 230088 安徽省合肥市蜀山区高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工业 管道 加热 用直管加 热带 | ||
本实用新型公开了一种工业管道加热用直管加热带,包括外包覆层布,所述保温层上方设有内胆布,所述内胆布靠近保温的一侧设有复数个温度传感器,所述温度传感器与位于外包覆层布外侧设有的控制器电性连接,所述内胆布顶部两侧与外包覆层布缝合,所述内胆布分为三层,自上而下一侧为上层内胆布、导热层和下层内胆布,所述导热层由复数个纵向等距排列的导热铜棒组成,每两个相邻的所述导热铜棒之间均通过复数个连接设备连接,所述连接设备为链状金属链或者抗高温线一种或者多种;本实用新型通过内胆布内设有的导热层,导热层由复数个纵向等距排列的导热铜棒组成,可以有效的解决背景技术中的问题。
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备领域,具体为一种工业管道加热用直管加热带。
背景技术
在半导体镀膜工艺过程中,有多种气体透过管路通入腔室。为避免气体冷凝,需要对气体管路进行加热以保持温度,现有技术中,直管加热方式比较多,但是导热效率低,且在拆除维护的时,其散热慢,往往需要等待很长时间的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的提供一种工业管道加热用直管加热带,通过内胆布内设有的导热层,导热层由复数个纵向等距排列的导热铜棒组成,可以有效的解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种工业管道加热用直管加热带,包括外包覆层布,所述外包覆层布内表面填充有保温层,所述保温层上方设有加热层,所述加热层由固定布和加热丝组成,所述加热丝纵向排列通过抗高温线固定在固定布上,所述加热丝两端通过串联固温保护开关和热保险丝电性连接有外设电源线,所述保温层上方设有内胆布,所述内胆布靠近保温的一侧设有复数个温度传感器,所述温度传感器与位于外包覆层布外侧设有的控制器电性连接,所述内胆布顶部两侧与外包覆层布缝合,所述内胆布分为三层,自上而下一侧为上层内胆布、导热层和下层内胆布,所述导热层由复数个纵向等距排列的导热铜棒组成,每两个相邻的所述导热铜棒之间均通过复数个连接设备连接,所述连接设备为链状金属链或者抗高温线一种或者多种。
进一步的,所述连接设备为链状金属链。
进一步的,所述连接设备为抗高温线。
进一步的,所述导热铜棒表面开设有复数个嵌入孔,所述上层内胆布和下层内胆布相互靠近的一侧且位于嵌入孔的位置设有嵌入凸块,所述嵌入凸块与嵌入孔相匹配。
进一步的,所述外包覆层布和内胆布外表面均涂有特氟龙。
进一步的,所述外包覆层布、保温层、固定布、上层内胆布和下层内胆布均选用玻璃纤维制成,所述外包覆层布两侧外表面通过魔法贴粘合。
工作原理和有益效果:通过。
附图说明
图1为本实用新型横截面结构示意图;
图2为本实用新型图1中A的结构放大示意图;
图3为本实用新型的导热层俯视结构示意图。
图中:1、外包覆层布;2、保温层;3、加热层;4、固定布;5、加热丝;6、内胆布;7、导热层;8、连接设备;9、嵌入孔;10、嵌入凸块。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
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