[实用新型]一种检测缓蚀剂浓度的装置有效

专利信息
申请号: 201921725412.6 申请日: 2019-10-15
公开(公告)号: CN210690365U 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 朱浩良;潘勇 申请(专利权)人: 武汉三友石化有限公司
主分类号: G01N19/00 分类号: G01N19/00;B01F13/10;B01F15/00
代理公司: 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 代理人: 张伶俐
地址: 430060 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 缓蚀剂 浓度 装置
【权利要求书】:

1.一种检测缓蚀剂浓度的装置,包括底板(1)、支架(2)和调节结构(3),其特征在于:所述调节结构(3)包括调节箱(301),调节箱(301)的内部设有固定板(302),固定板(302)顶面的一端固定连接有电机(303),电机(303)的输出端固定连接有转轴(304),转轴(304)的外表面固定连接有蜗杆齿形(305),固定板(302)的一侧面固定连接有连接板(306),连接板(306)远离固定板(302)的一侧面转动连接有支撑板(307),支撑板(307)远离连接板(306)的一端固定连接有联动杆(309),联动杆(309)远离支撑板(307)的一侧面转动连接有转动板(310),转动板(310)一侧面远离联动杆(309)的一端转动连接有Z型连接轴(312),Z型连接轴(312)远离转动板(310)的一端固定连接有涡轮(311),转轴(304)的下方设有夹持机构(4),夹持机构(4)的内部设有试管瓶(5)。

2.根据权利要求1所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述夹持机构(4)包括夹持箱(401),夹持箱(401)的内部开设有滑槽(402),滑槽(402)的内部滑动连接有两个相对称的滑块(407),两个滑块(407)相互靠近的侧面均固定连接有夹持块(404),试管瓶(5)位于两个夹持块(404)的夹缝中。

3.根据权利要求2所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述两个滑块(407)相互远离的一侧面均固定镶嵌有轴承(405),两个轴承(405)的内圈均固定连接有调节螺栓(406),夹持箱(401)的两侧面均固定镶嵌有螺母(403),调节螺栓(406)与螺母(403)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述底板(1)顶面的两端均固定连接有支架(2),两个支架(2)相互靠近的侧面分别与调节箱(301)外表面的两侧固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述转轴(304)远离电机(303)的一端与夹持箱(401)顶面的中心固定连接,两个夹持块(404)的相互靠近的面均开设有防滑纹路。

6.根据权利要求1所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述支撑板(307)远离连接板(306)侧面的一端固定连接有第二支撑柱(313),支撑板(307)远离连接板(306)侧面的另一端固定连接有第一支撑柱(308),第一支撑柱(308)远离支撑板(307)的一端和第二支撑柱(313)远离支撑板(307)的一端均与调节箱(301)的内侧壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种检测缓蚀剂浓度的装置,其特征在于:所述涡轮(311)远离涡轮(311)的侧面与连接板(306)靠近固定板(302)的侧面转动连接,涡轮(311)与蜗杆齿形(305)相适配,试管瓶(5)的外表面喷涂有刻度线(6)。

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