[实用新型]阶梯型字线结构有效
| 申请号： | 201921731801.X | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN210837738U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 冯鹏;孔忠;李雄 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L27/108;H01L21/768;H01L21/8242 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阶梯 型字线 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种阶梯型字线结构，其特征在于，包括导电层，所述导电层的顶端呈中间高两边低的阶梯型构型，所述导电层的顶端以所述导电层的中心线为轴对称设置。
2.根据权利要求1所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述阶梯型字线结构还包括一设置在所述导电层外表面的阻挡层，所述导电层的顶端的最高点高于所述阻挡层的上端面。
3.根据权利要求2所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述导电层的顶端的最低点高于所述阻挡层的上端面。
4.根据权利要求2所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述阶梯型字线结构还包括栅极绝缘层，所述栅极绝缘层设置在所述阻挡层的外表面。
5.根据权利要求4所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述栅极绝缘层的上端面高于所述导电层的顶端的最高点。
6.根据权利要求1所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述导电层顶端从边缘至中心的方向具有四级台阶。
7.根据权利要求1所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述导电层顶端从边缘至中心的方向具有三级台阶。
8.根据权利要求1所述的阶梯型字线结构，其特征在于，所述阶梯型字线结构设置在一衬底的沟槽中。
9.根据权利要求8所述的阶梯型字线结构，其特征在于，在所述衬底的上表面设置有氧化物隔离层。
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