[实用新型]倒片机

权利要求书

1.倒片机，用于移运料框中的硅片，其包括机架和若干个置于机架上且用于容置硅片的料框，其特征在于：其还包括：

第一滑轨，水平固定在机架上端面且位于料框一侧；

第二滑轨，一端通过第一连接架与第一滑轨滑动连接并可在第一滑轨上水平滑动，另一端向上延伸；

机械臂，呈L形，其一端通过第二连接架与第二滑轨滑动连接并可在第二滑轨上上下滑动，另一端沿接近料框方向延伸且端末朝下；

若干个真空吸嘴，设于机械臂接近料框方向的端末且用于吸取料框中的硅片，所述的机械臂对应真空吸嘴的设置位置设有供其可拆卸装配的通孔；

第一驱动电机，固定在第一滑轨的一端，其转轴上连接有螺杆并通过螺杆螺纹穿置过第一连接架后，延伸至第一滑轨的另一端，由第一驱动电机驱动第一连接架带动第二滑轨水平滑动；

第二驱动电机，固定在第二滑轨的另一端，其转轴上连接有螺杆并通过螺杆螺纹穿置过第二连接架后，竖直向下延伸至第二滑轨与第一滑轨连接的端部，由第二驱动电机驱动第二连接架带动机械臂上下滑动；

伺服控制器，与第一驱动电机和第二驱动电机电连接。

2.根据权利要求1所述的倒片机，其特征在于：其还具有一与伺服控制器电连接的控制面板，所述的控制面板设于机架上端面远离第一滑轨的一侧。

3.根据权利要求1所述的倒片机，其特征在于：所述的机架对应第一驱动电机的设置位置设有与第一驱动电机固定连接的电机架。

4.根据权利要求1所述的倒片机，其特征在于：所述的第二滑轨上设有与第二连接架配合的滑槽，所述的滑槽由上至下延伸至第二滑轨两端。

5.根据权利要求1所述的倒片机，其特征在于：所述的真空吸嘴为至少两对且两两相对固定在机械臂接近料框方向的端末上。