[实用新型]一种光学真空镀膜用抽气装置

说明书

本实用新型公开了一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱，镀膜机箱的一侧设有可视窗，镀膜机箱的一端设有冷凝箱，另一端设有加热器，镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板，镀膜机箱的顶端安装有抽气箱，抽气箱上连接有若干个输气管，镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架，镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸，液压缸固定在底座上，底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，底座的两端均设有液压制动箱，该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开，并通过抽气管连接，减少镀膜箱的负重，检修十分方便，灵活性强，而且镀膜箱的密封性好，取拿镀膜件简单方便，可以对多个镀膜件进行同时镀膜，效率高，速度快，整体稳定性能高。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种光学真空镀膜用抽气装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，而现在的真空镀膜机功能单一，抽气装置大多安装在镀膜箱上，不仅受到箱体的温度影响，而且增加箱体的负重，现有的镀膜箱往往采用真空门的形式打开镀膜箱，存在密封性差，取拿镀膜件不方便的问题，而且不能同时对多个镀膜件进行镀膜，效率低，速度慢。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种光学真空镀膜用抽气装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱，所述镀膜机箱的一侧设有可视窗，所述镀膜机箱的一端设有冷凝箱，另一端设有加热器，所述镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板，所述镀膜机箱的顶端安装有抽气箱，所述抽气箱上连接有若干个输气管，所述镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架，所述镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸，所述液压缸固定在底座上，所述底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述底座的两端均设有液压制动箱，所述底座顶端中部的四个侧面均焊接有橡胶气囊固定钢板，所述橡胶气囊固定钢板上安装有橡胶气囊，所述底座的顶端中部设有连接杆，所述连接杆上焊接有若干个托盘，所述连接杆的底端设有齿轮箱，所述齿轮箱的底端设有电机，所述底座的底部安装有微型气泵，所述底座的一侧设有抽真空装置，所述抽真空装置的一侧设有控制柜，所述抽真空装置上设有增压泵、机械泵、扩散泵和罗茨泵。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压缸通过螺栓固定在所述底座的顶端四个拐角处，所述液压缸与所述镀膜机箱固定架通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压制动箱通过螺栓固定在所述底座上，所述液压制动箱内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与所述液压油箱和所述液压缸相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置通过所述输气管与所述抽气箱相连，所述抽气箱焊接在所述镀膜机箱的顶部上，所述冷凝箱和加热器均通过螺栓固定在所述镀膜机箱上，所述冷凝箱内设有水箱、冷凝器和冷凝管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述齿轮箱通过螺栓固定在所述底座的底部上，所述电机与所述齿轮箱通过螺栓固定相连，所述电机的转轴与所述齿轮箱内的齿轮啮合相连，所述连接杆与所述齿轮箱固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述微型气泵通过螺栓固定在所述底座上，所述微型气泵通过输气管与所述橡胶气囊相连，所述橡胶气囊固定在所述橡胶气囊固定钢板上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镀膜机箱上的镀膜机箱插板与所述底座上的橡胶气囊固定钢板活动相连，所述镀膜机箱的背面安装有若干个电子枪，所述电子枪上设有正负两极。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座上设有电源开关，所述电源开关分别与所述液压制动箱、电机和微型气泵电性连接，所述控制柜分别与所述冷凝箱、加热器、增压泵、机械泵、扩散泵和罗茨泵电性连接。