[实用新型]一种长晶治具有效

专利信息
申请号: 201921744520.8 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN210711825U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 余剑云;杨胜裕;陈建明;林仲和;刘艺霖 申请(专利权)人: 福建晶安光电有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362411 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 长晶治具
【权利要求书】:

1.一种长晶治具,用于熔体籽晶法单晶生长炉中固定籽晶,长晶治具包括用作冷却的籽晶杆、固定籽晶杆的夹套以及夹持籽晶的籽晶夹具;籽晶杆和夹具具有相对应的螺纹,夹套承接籽晶夹具和籽晶杆,其特征在于,夹套与籽晶杆包括螺纹连接和卡扣连接。

2.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,将夹套的截面设计成具有开口、侧壁和底部的U形,开口预留为与籽晶杆螺纹连接,侧壁内部具有与籽晶杆匹配的螺纹,侧壁内部设有通孔或者槽体,用于放置一顶针,顶针穿过夹套的通孔或者槽体卡在籽晶杆的螺纹与螺纹之间。

3.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,顶针的材料为钼。

4.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,夹套底部具有孔洞,籽晶夹具的一端从夹套底部孔洞穿过,端部具有内陷的凹槽,通过半圆环卡入凹槽内,半圆环的直径大于孔洞的孔径,限定籽晶夹具相对夹套移动,籽晶夹具的另一端为籽晶夹持部,籽晶夹持部具有工字型空间用于容纳固定籽晶。

5.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,治具上设置有套索,套索连接捆绑籽晶杆和夹具。

6.根据权利要求5所述的一种长晶治具,其特征在于,套索的材料为钨铼线。

7.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,顶针的直径是变化的。

8.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,籽晶杆的材料包括不锈钢和铜质材料,靠近夹套的一端为铜制材料。

9.根据权利要求8所述的一种长晶治具,其特征在于,不锈钢部分的籽晶杆设有冷却循环水路。

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