[实用新型]一种长晶治具有效
申请号: | 201921744520.8 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN210711825U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 余剑云;杨胜裕;陈建明;林仲和;刘艺霖 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 长晶治具 | ||
1.一种长晶治具,用于熔体籽晶法单晶生长炉中固定籽晶,长晶治具包括用作冷却的籽晶杆、固定籽晶杆的夹套以及夹持籽晶的籽晶夹具;籽晶杆和夹具具有相对应的螺纹,夹套承接籽晶夹具和籽晶杆,其特征在于,夹套与籽晶杆包括螺纹连接和卡扣连接。
2.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,将夹套的截面设计成具有开口、侧壁和底部的U形,开口预留为与籽晶杆螺纹连接,侧壁内部具有与籽晶杆匹配的螺纹,侧壁内部设有通孔或者槽体,用于放置一顶针,顶针穿过夹套的通孔或者槽体卡在籽晶杆的螺纹与螺纹之间。
3.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,顶针的材料为钼。
4.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,夹套底部具有孔洞,籽晶夹具的一端从夹套底部孔洞穿过,端部具有内陷的凹槽,通过半圆环卡入凹槽内,半圆环的直径大于孔洞的孔径,限定籽晶夹具相对夹套移动,籽晶夹具的另一端为籽晶夹持部,籽晶夹持部具有工字型空间用于容纳固定籽晶。
5.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,治具上设置有套索,套索连接捆绑籽晶杆和夹具。
6.根据权利要求5所述的一种长晶治具,其特征在于,套索的材料为钨铼线。
7.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,顶针的直径是变化的。
8.根据权利要求1所述的一种长晶治具,其特征在于,籽晶杆的材料包括不锈钢和铜质材料,靠近夹套的一端为铜制材料。
9.根据权利要求8所述的一种长晶治具,其特征在于,不锈钢部分的籽晶杆设有冷却循环水路。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建晶安光电有限公司,未经福建晶安光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921744520.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。