[实用新型]一种硅烷混合气体回收处理系统

说明书

本实用新型公开了一种硅烷混合气体回收处理系统，包括回收罐、燃烧室、喷淋单元、粉尘收集器、尾气放空单元。其中回收罐设有内胆、压力表、温度计及换热盘管；燃烧室的底部设有水池和排污口，中部设有气体分布器和补水管；喷淋单元设有喷淋管和循环水泵，喷淋管安装在燃烧室顶部，循环水泵入口与燃烧室底部水池相连；粉尘收集器设有布袋和收集桶；用来收集尾气中的粉尘二氧化硅，并富积在底部收集桶内；尾气放空单元设有风机和15m高的放空烟囱，使尾气于15m高的区域进行放空。本实用新型可以使高价值的硅烷气体得以回收使用，很好的节约生产成本，提高企业的经济效益；同时，极大的减少了硅烷尾气燃烧所带来的环境问题。

技术领域

本实用新型属于自燃性混合气体回收处理技术领域，具体涉及一种硅烷混合气体回收处理系统。

背景技术

硅烷在配制其混合气体（如20%硅烷80%氮）过程中，要对配气系统中剩余的硅烷及硅烷混合气进行排放，因此会有大量的硅烷及硅烷混合气排放到尾气系统中进行燃烧分解。硅烷价格较高，大量硅烷及其混合气排放，势必会造成企业生产成本的增加；再者，因硅烷遇空气自燃或燃烧处理时，会产生大量黄色烟雾及氧化硅沉淀，这又涉及硅烷尾气的排放指标，因此硅烷及其混合气尾气处理达标尤为重要。

为了满足环保要求和节约生产成本，特别需要一种硅烷混合气体回收处理系统，以解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供适一种适用于硅烷混合气体回收处理系统，针对现有技术存在的问题，减少硅烷尾气的燃烧排放量，使高价值的硅烷得以重新回收利用，极大的节约了生产成本并解决了尾气排放问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种硅烷混合气体回收处理系统，包括经管道相互连接的回收罐、燃烧室、喷淋单元、粉尘收集器和尾气放空单元；所述回收罐包括内胆、压力表、温度计和换热盘管，其中温度计和压力表实现回收罐内胆的温度和压力监测，所述回收罐的硅烷混合气入口与所述内胆相连，所述内胆位于回收罐的中部，所述内胆外设有外壳体，外壳体与内胆之间为真空状态，所述硅烷混合气入口处设有调压阀，所述换热盘管分别与液氮入口和气氮出口相连，所述回收罐气体出口设有单向阀，以防止倒吸，并与所述燃烧室气体入口相连。

优选地，所述燃烧室的底部设有水池和排污口，当水池内的二氧化硅含量积累过多时，可利用排污口排空，对水池进行换水、清洁处理；中部设有气体分布器、补水口、用于观察和将空气引入燃烧室的观察口；所述观察口为百叶窗式的观察口，以实现将空气引入燃烧室，保障燃烧室内部空气充足，燃烧充分；所述燃烧室气体入口与回收罐气体出口相连并插入到底部水池液面以下，形成液封，所述燃烧室气体入口的末端与气体分布器相连，所述气体分布器实现硅烷混合气体从水池液面均匀逸出。

优选地，所述喷淋单元包括喷淋管和循环水泵，所述喷淋管安装在燃烧室的顶部，喷淋管上设置有喷淋嘴，以实现水帘，增加除尘和降温效果；所述循环水泵入口与燃烧室底部水池相连，循环水泵出口与喷淋管相连，实现水资源的循环利用。

优选地，所述粉尘收集器包括布袋，所述布袋的下部连接有用来储存硅烷混合气体中粉尘二氧化硅的可拆卸式的收集桶，所述布袋通过尾气输送管道与燃烧室气体出口相连。

优选地，所述尾气放空单元包括风机，以提供整个燃烧段气体流通的动力，所述风机的一端与尾气输送管道相连，另一端与放空烟囱相连，放空烟囱高度优选为15m。