[实用新型]一种光刻胶涂布装置有效
申请号: | 201921747392.2 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN210402006U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 佟新廷 | 申请(专利权)人: | 昆山虹灿光电材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 胶涂布 装置 | ||
本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置,包括连接块和箱体,所述箱体的上端安装有连接块,所述连接块的上端外壁上设置有连接盖,所述连接盖和连接块通过固定合页固定连接,所述连接盖的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱,所述箱体的右端外壁上设置有固定防抖装置,所述箱体的下端外壁上设置有固定支腿装置,所述箱体的前端上侧外壁上设置有触屏显示器,所述触屏显示器右侧的箱体前端上侧外壁上设置有按键,所述固定防抖装置上设置有连接壳,通过在涂布装置的两侧加装固定防抖装置,装置上的吸盘与地面连接使得整个涂布装置与地面有了固定连接,从而将涂布装置产生的震动传递给地面以减少涂布装置自身的震动,使得光刻胶涂布装置的使用起来更加方便。
技术领域
本实用新型属于匀胶机相关技术领域,具体涉及一种光刻胶涂布装置。
背景技术
匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度,该设备主要用于晶片涂光刻胶,有自动、手动和半自动三种工作方式。
现有的光刻胶涂布装置技术存在以下问题:在使用匀胶机涂布光刻胶时,高速转动的匀胶机很出现震动,影响使用效果,并且随着转速的增加震动效果增强。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光刻胶涂布装置,以解决上述背景技术中提出的匀胶机使用时出现震动影响使用的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种光刻胶涂布装置,包括连接块和箱体,所述箱体的上端安装有连接块,所述连接块的上端外壁上设置有连接盖,所述连接盖和连接块通过固定合页固定连接,所述连接盖的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱,所述箱体的右端外壁上设置有固定防抖装置,所述箱体的下端外壁上设置有固定支腿装置,所述箱体的前端上侧外壁上设置有触屏显示器,所述触屏显示器右侧的箱体前端上侧外壁上设置有按键,所述固定防抖装置上设置有连接壳,所述连接壳前端的箱体右端外壁上设置有连接卡槽,所述连接壳和连接卡槽通过限位磁块固定连接,所述连接壳的内部设置有伸缩杆,所述连接壳和伸缩杆通过连接螺母固定连接,所述伸缩杆的下端穿过连接壳设置在连接壳的下侧,所述伸缩杆的下端外壁上设置有固定块,所述固定块的外部套接有连接吸盘,所述伸缩杆的右端内部设置有固定槽,所述连接螺母通过固定槽和伸缩杆固定连接,所述固定支腿装置上设置有连接杆,所述连接杆设置在箱体的下端外壁上,所述连接杆的外部套接有连接套,所述连接杆的下端外部套接有固定环,所述连接杆右侧的固定环内部设置有螺纹孔,所述固定环的上端外壁上设置有螺纹环,所述螺纹环和连接套通过螺纹固定连接,所述连接杆通过螺纹环和固定环固定连接,所述触屏显示器通过按键与外部电源电性连接。
优选的,所述连接块的上端内部设置有连接口,所述连接口设置在靠近连接盖下端的连接块内部。
优选的,所述连接盖的上端内部设置有圆形开口,所述圆形开口设置在连接盖的上端中心处内部。
优选的,所述固定支腿装置的下端外壁上设置有防滑垫,所述防滑垫包裹在固定支腿装置的下端外壁上。
优选的,所述伸缩杆的外壁和连接壳的内壁均为光滑壁,所述伸缩杆的外壁和连接壳的内壁能够完全贴合。
优选的,所述连接吸盘的上端内壁能够和固定块的外壁完全贴合,所述连接吸盘通过粘合剂和固定块固定连接。
优选的,所述固定防抖装置共设置有两个,两个所述固定防抖装置分别设置在箱体的左右端相同高度处。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种光刻胶涂布装置,具备以下有益效果:
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