[实用新型]一种用于光刻胶的过滤装置有效
| 申请号： | 201921747444.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN210874400U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 佟新廷 | 申请（专利权）人： | 昆山虹灿光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 过滤 装置 | ||
1.一种用于光刻胶的过滤装置，包括入料口（1）和壳体（2），其特征在于：所述壳体（2）的上端安装有入料口（1），所述壳体（2）的前端中心处套接有连接环（3），所述壳体（2）的左端上侧外壁上设置有上通气口（8），所述上通气口（8）的左端圆周外部套接有上帽塞（7），所述壳体（2）的下端外壁上设置有出料口（4），所述壳体（2）的左端下侧外壁上设置有下通气口（5），所述下通气口（5）的左端圆周外部套接有下帽塞（6），所述壳体（2）的内部设置有分段防漏过滤装置（9），所述分段防漏过滤装置（9）上设置有连接架（10），所述连接架（10）设置在壳体（2）的内部，所述壳体（2）的内部设置有折叠式滤膜（11），所述折叠式滤膜（11）上端的连接架（10）内部设置有连接过滤柱（13），所述壳体（2）的靠近上侧左端内壁上设置有连接曲壁（12）。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的过滤装置，其特征在于：所述连接环（3）的内部设置有螺纹，所述壳体（2）的通过连接环（3）可分为上下两部分，所述连接环（3）的内部设置有密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的过滤装置，其特征在于：所述连接曲壁（12）为环状结构，所述连接曲壁（12）的内壁与连接过滤柱（13）的外壁固定接触。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的过滤装置，其特征在于：所述上帽塞（7）的外壁和上通气口（8）的内壁均为光滑壁，所述上帽塞（7）的右半段外壁和上通气口（8）的内壁能够完全贴合。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的过滤装置，其特征在于：所述入料口（1）的外部设置有密封套，所述入料口（1）通过密封套与外部供料设备固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的过滤装置，其特征在于：所述折叠式滤膜（11）和连接过滤柱（13）的直径大小相同，所述折叠式滤膜（11）的外壁能够和连接架（10）的内壁完全贴合。
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