[实用新型]一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台

权利要求书

1.一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其包括基座、动平台、四个第一柔性支链和一个第二柔性支链；四个所述第一柔性支链两两对称分布于所述动平台的四周；其特征在于：

所述第一柔性支链由四个双四杆型柔性模块组成，其中三个所述双四杆型柔性模块的末端共同连接于连接模块一，首端分别通过连接模块二与所述基座连接，且三个所述双四杆型柔性模块中有两个呈水平布置于所述连接模块一的两侧，一个呈竖向布置于所述连接模块一的下方；剩余一个所述双四杆型柔性模块呈水平布置并与三个所述双四杆型柔性模块垂直，且其末端与所述动平台连接，首端与所述连接模块一连接；

所述第二柔性支链位于所述动平台下方并位于四个所述第一柔性支链的内侧，所述第二柔性支链由五个双四杆型柔性模块组成，其中四个所述双四杆型柔性模块与所述第一柔性支链中的与所述动平台连接的四个所述双四杆型柔性模块上下一一正对且平行，且其末端共同连接于连接模块三，首端分别通过连接模块四与所述基座连接；剩余一个所述双四杆型柔性模块呈竖向布置且其末端与所述动平台连接，首端与所述连接模块三连接；

所述基座上还分别固定安装有X向电磁驱动器、Y向电磁驱动器和Z向电磁驱动器，所述X向电磁驱动器和所述Y向电磁驱动器的驱动端分别与相邻的两个所述连接模块一连接，所述Z向电磁驱动器的驱动端与所述连接模块三连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其特征在于：所述双四杆型柔性模块包括八个互相平行的柔性杆，八个所述柔性杆的下端分别固接在呈正方形框架结构的刚性连接件一的四个拐点和四个中点位置；位于所述拐点位置的四个所述柔性杆的上端分别连接有刚性连接件二，所述刚性连接件二构成所述双四杆型柔性模块的末端；位于所述中点位置的四个所述柔性杆的上端共同连接在刚性连接件三上，所述刚性连接件三构成所述双四杆型柔性模块的首端。

3.根据权利要求2所述的一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其特征在于：所述双四杆型柔性模块中，拐点位置的四个所述柔性杆、所述刚性连接件一和所述刚性连接件二一体制成，位于中点位置的四个所述柔性杆、所述刚性连接件一和所述刚性连接件三一体制成。

4.根据权利要求2或3所述的一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其特征在于：所述刚性连接件二为方块形结构，所述刚性连接件三为十字形板状结构，四个所述刚性连接件二与所述刚性连接件三呈米字型布置且所述刚性连接件二与所述刚性连接件三之间留有间隙，位于所述中点位置的四个所述柔性杆的上端分别固接在所述刚性连接件三的四端底面上。

5.根据权利要求4所述的一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其特征在于：所述连接模块一由方形块和垂直固接在所述方形块上的十字形杆组成，所述连接模块二与所述十字形杆的结构相同；所述第一柔性支链的其中三个所述双四杆型柔性模块的末端分别通过螺钉固接在所述方形块的三个侧面上，首端的十字中心分别通过螺钉与所述连接模块二的一端固接，所述连接模块二的另一端由所述刚性连接件一伸出并通过转接模块固接在所述基座上；所述第一柔性支链中剩余一个所述双四杆型柔性模块的末端通过螺钉固接在所述动平台的侧面上，首端的十字中心通过螺钉与伸入所述双四杆型柔性模块内部的所述十字形杆的端部固接。

6.根据权利要求5所述的一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其特征在于：所述连接模块三与所述连接模块一的结构相同，所述连接模块四与所述连接模块二的结构相同；所述第二柔性支链的其中四个所述双四杆型柔性模块的末端分别通过螺钉固接在所述连接模块三的方形块的四个侧面上，首端的十字中心分别通过螺钉与所述连接模块四的一端固接，所述连接模块四的另一端由所述刚性连接件一伸出并通过所述转接模块固接在所述基座上；所述第二柔性支链的剩余一个所述双四杆型柔性模块的末端通过螺钉固接在所述动平台的底面上，首端的十字中心通过螺钉与伸入所述双四杆型柔性模块内部的所述连接模块三的十字形杆的端部固接。