[实用新型]处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口

权利要求书

1.一种处理腔室，其中所述处理腔室包括：

腔室主体，所述腔室主体具有侧壁和底部；

顶板，所述顶板安装成上覆于所述腔室主体，所述顶板和所述腔室主体限定所述处理腔室的内部空间；

基板支撑件，所述基板支撑件设置在所述处理腔室的所述内部空间中并被配置为在处理期间支撑基板；

端点检测系统；和

透明面板，所述透明面板安装在所述顶板中并被配置为允许所述端点检测系统经由所述透明面板与所述基板对接，所述透明面板相对于所述基板和所述基板支撑件以第一锐角定向，所述透明面板被配置为：

接收来自所述端点检测系统的相对于所述面板为第二锐角的入射光束；和

以垂直于所述基板和所述基板支撑件的角度将所述入射光束传输到所述处理腔室内的所述基板。

2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述面板进一步被配置为：

以所述第二锐角接收来自所述基板的反射光束；和

以垂直于所述端点检测系统的角度将所述反射光束传输到所述端点检测系统。

3.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述第二锐角等于90°减去所述第一锐角。

4.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述第一锐角在2°至5°的范围内。

5.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述第二锐角在85°至88°的范围内。

6.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述第一锐角为3°并且所述第二锐角为87°。

7.一种适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口，其中所述倾斜窗口包括：

安装框架，所述安装框架具有主体，所述主体包括第一区段和垂直于所述第一区段延伸的第二区段，所述第二区段具有上表面和底表面，所述第二区段的上表面相对于所述第二区段的底表面以第一锐角倾斜并且相对于所述第一区段以第二锐角倾斜；和

面板，所述面板具有主体，所述主体包括顶表面、底表面和侧壁，所述面板设置在所述安装框架中，所述面板的所述侧壁邻近所述安装框架的所述第一区段，并且搁置在所述安装框架的所述第二区段的所述上表面上的所述面板的所述底表面相对于所述安装框架的所述第二区段的所述底表面成所述第一锐角。

8.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述第二锐角等于90°减去所述第一锐角。

9.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述第一锐角在2°至5°的范围内。

10.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述第二锐角在85°至88°的范围内。

11.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述面板由光学窗口材料制成。

12.如权利要求11所述的倾斜窗口，其中所述光学窗口材料包括蓝宝石、熔融石英或MgF2。

13.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述面板为圆形的。

14.如权利要求7所述的倾斜窗口，其中所述安装框架由金属或陶瓷制成。