[实用新型]一种低压扩散炉

说明书

本实用新型提供一种低压扩散炉，包括机架和多根炉管，机架上设有对应每根炉管的安装部位，所述多根炉管呈卧式并列排布。本实用新型通过在一个设备内，设置双排卧式炉管，每排炉管都可以有多层结构，通过增加炉管的数量来提高一套设备的产能，并且，由于炉管的布置，本实用新型还可以为每排炉管配套的上下料结构，对每排炉管分别进行上下料，这样，上下料和炉内加工同时进行，从流程上提高了效率和产能。

技术领域

本实用新型涉及低压扩散炉，尤其涉及一种高产量的低压扩散炉。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是现有的一些处理方式。

低压扩散炉，用于在低压氛围下，实现化学反应和分子沉积成膜，成膜以后可以通过加热进行高温扩散，从而实现半导体或光伏原材料表面掺杂的功能，通过这种方式可以进行半导体或光伏材料的表面加工。目前在半导体或光伏材料加工行业，已有不少相关的加工设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，加工设备以能够保持高温和低压的炉体为主要加工设备，现有技术中的炉体通常是立式的，一台设备通常配备一个炉体，这种方式下，如果要提高单个炉体的产量，就必须要扩大炉体容量，但是炉体容量的扩大规模有限，而且单个炉体在上下料和传送的过程中会耗费很多时间，从流程上来说也不利于效率的提高。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，针对背景技术中存在的问题，提供一种低压扩散炉，能够优化流程，提升产能。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：

一种低压扩散炉，包括机架和多根炉管，机架上设有对应每根炉管的安装部位，所述多根炉管呈卧式并列排布。

进一步地，所述多根炉管排列成至少一列。所述的列是指竖向排列，也就是多根炉管呈上下层排列。

进一步地，所述多根炉管排列成至少一排。所述的排是指横向排列，也就是多根炉管呈横向排列。

作为一种优选，多根炉管可以纵向和横向结合排列，例如3×2、4×2、5×2或者6×2，或者其他的一些排列形式，通过这种多层和多排的排列形式，使得一台设备可以同时布置多根炉管，多根炉管可以同时或者根据一定的时间流程来依次进行加工，不需要改变炉体本身的容量，也可以扩大产能，而且，多根炉管有利于流程上的设计，通过流程设计也可以有效提升生产效率和产能。

作为一种优选，本实用新型采用双排炉管布置，这样，每排炉管都可以采用对应的上下料结构，同时进行上下料和运送操作，从流程上提升效率和产能。

进一步地，所述机架包括横向固定架，所述横向固定架能够限定每个炉管的布置位置，横向固定架可以根据炉管的列数来布置，例如，每一列炉管至少需要设置一对横向固定架。

进一步地，所述炉管下方的横向固定架之间设有层间隔板。层间隔板设置在一对横向固定架之间，可以用于隔开上下层的炉管，同时也可以用于承载本层的炉管。

进一步地，所述层间隔板上设有炉管定位结构。作为一种优选，炉管定位结构可以是炉管架，炉管架包括两根炉管架杆，可以固定在层间隔板上，炉管被夹在这两根炉管架上，通过紧固件固定，避免炉管的摇晃甚至滚动。

进一步地，所述机架包括纵向固定架，所述纵向固定架能够用于支撑所述横向固定架和所述层间隔板。

进一步地，所述机架还包括尾部挡板，尾部挡板可以对炉体的末端起到保护作用，同时还提供管路结构的承载部位。

进一步地，所述尾部挡板上设有用于进气和排气的管路结构。作为一种优选，尾部挡板上的管路结构可以是管路接口，用于连接外部的进气和尾气排气。