[实用新型]大型磁控溅射镀膜机的真空室结构

说明书

本实用新型公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本实用新型的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。

技术领域

本实用新型涉及一种大型磁控溅射镀膜机。

背景技术

一些特殊形状的、大型的制件表面需要做各种功能的镀膜处理，比如大型汽车或特种车辆的风挡玻璃、特大的异形建筑玻璃制件、飞机的机舱罩等，既要解决光学之高透射、防辐射、节能问题，又要解决材料表面电导率、硬度、耐磨损、隐身等问题，需要设计一种大型的磁控溅射镀膜机，以满足这类特殊产品的镀膜需求。此大型镀膜机真空室的组合结构要满足真空室每个部分的抗压强度，满足高真空密封的要求，还要满足取放工件的大开度要求。

发明内容

本实用新型的目的在于，提供一种既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求的大型磁控溅射镀膜机真空室结构。

本实用新型采用的技术方案如下：大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。

进一步地，所述真空室体中间焊接双道环形加强筋。

进一步地，所述移动门架呈倒“T”型。

进一步地，所述封头门为蝶形封头。

进一步地，在封头门的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座，固定座通过螺栓固定在移动门架上。

进一步地，所述脚轮为双脚轮。

本实用新型的有益效果如下：

（1）本实用新型的真空室体为薄壁圆柱状，两端焊接法兰，密封面加工在法兰外端面，端部法兰可加强端部抗压强度，中间双道环形加强筋可加强真空室中部抗压强度，这种结构既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、美观；

（2）封头门的边缘焊接法兰，封头门抗压强度好，封头门采用蝶形封头件，在蝶形封头的大弧形段与小弧形段交接处焊接连接固定座，变形量小，稳定性好；

（3）真空室体为固定安装主体，封头门固定在移动门架上，移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，实现两端的真空室门的开关，以配合生产取放工件或维修的需要；

（4）移动门架采用倒“T”型结构，结构支撑稳定性好，底部脚轮采用双轮设计，跨越道轨沟槽时可避免震动或停滞；

（5）封头门由固定座用螺栓固定在移动门架上，可调节封头门和移动门架的相对位置，以达到封头门法兰和真空室体法兰配合平行、对齐。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的封头门的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。