[实用新型]一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机

权利要求书

1.一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，包括底座(2)，其特征在于：所述底座(2)上端两侧通过支杆(9)固定连接有横杆(35)，所述横杆(35)上端中部贯穿连接有伺服缸(12)，且伺服缸(12)底端通过第二伺服电机(13)活动连接有连接杆(14)，所述连接杆(14)底端中部通过总螺管(17)螺纹连接有螺杆(16)，且螺杆(16)底端固定连接有研磨盘(15)，所述总螺管(17)内中部通过螺纹块(22)螺纹连接有第一分螺管(20)，且第一分螺管(20)内中部上、下端依次螺纹连接有第二分螺管(21)和第三分螺管(23)，所述底座(2)顶部中段固定连接有工作箱(28)，所述工作箱(28)一侧下部通过第一伺服电机(6)转动连接有轴杆(30)，且轴杆(30)延伸进工作箱(28)内下部，所述轴杆(30)前端通过偏心块(26)分别转动连接有第一研磨板(25)和第二研磨板(29)，且第一研磨板(25)设置于第二研磨板(29)上方，所述第一研磨板(25)、第二研磨板(29)正表面中部等距离设置有研磨槽(24)，所述研磨槽(24)内两侧中部设置有一组凹槽(31)，且凹槽(31)内中部通过伸缩杆(33)活动连接有第一固定夹(32)和第二固定夹(34)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述底座(2)上端两侧中部螺纹连接有一组固定杆(7)，且固定杆(7)底端中部焊接连接有尖块(1)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述工作箱(28)上端中部开设有通口(10)，且工作箱(28)正表面上部中央位置通过紧固螺钉(3)螺纹连接有盖板(5)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述工作箱(28)正表面下部中央位置镶嵌连接有控制器(4)，且控制器(4)的输出端分别与第一伺服电机(6)、第二伺服电机(13)、伺服缸(12)和伸缩杆(33)的输入端电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述横杆(35)通过两端固定连接有的一组固定块(8)与支杆(9)连接，且固定块(8)上端中部螺纹连接有一组紧固螺栓(11)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述螺纹块(22)设置于总螺管(17)内部两侧中部设置有的限位槽(18)内中部，且限位槽(18)外侧中段螺纹连接有一组调节螺栓(19)，调节螺栓(19)内端与螺纹块(22)外侧中部连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，其特征在于：所述第一固定夹(32)设置于第二固定夹(34)左侧，且第一固定夹(32)、第二固定夹(34)内侧中部夹持连接有晶圆体(27)。