[实用新型]一种多线切割机的线位调节机构

说明书

本实用新型涉及一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆、导轨、多个导轮和支架，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。本实用新型的有益效果是：通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。

技术领域

本实用新型涉及多线切割，尤其涉及一种多线切割机的线位调节机构。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。在多线切割机的加工过程中，需要对切割线与硅晶体的相对位置进行调整，而现有技术均为对硅晶体的调整，但是硅晶体尺寸较大，而切片的很薄，导致这种调整方式比较困难。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种多线切割机的线位调节机构，通过对多线切割机的切割线进行调整，提高线位精度。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现：

一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆、导轨、多个导轮和支架，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。

根据上述技术方案，优选地，所述外部驱动装置为摇柄、手轮或电机中的任意一种。

根据上述技术方案，优选地，相邻的所述导轮之间设有减震弹簧，所述减震弹簧分别套设在螺杆和导轨上。

本实用新型的有益效果是：通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。

附图说明

图1示出了本实用新型的实施例的主视结构示意图。

图中：1.螺杆，2.导轨，3.导轮，4.支架，5.环形凹槽。

具体实施方式

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图所示，本实用新型一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆1、导轨2、多个导轮3和支架4，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽5，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆6上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。

本实施例的工作原理为：切割线安装在导轮的凹槽中，来限制切割线的位置。操作人员可以通过外部驱动装置带动螺杆转动。由于导轮被导轨限位，因此导轮不会随着螺杆转动，而会在螺纹连接的带动下，沿着螺杆移动。由于多个导轮均通过同样的螺纹连接螺杆，因此导轮随着螺杆的移动距离是相同的，也就是说导轮之间的间距不变。

综上所述，本实施例通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。

根据上述技术方案，优选地，所述外部驱动装置为摇柄、手轮或电机中的任意一种。本实施例公开了外部驱动装置的三种实施方式。