[实用新型]一种具有定位功能的石墨舟片有效

专利信息
申请号: 201921776538.6 申请日: 2019-10-22
公开(公告)号: CN210272413U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 吴寅;何军 申请(专利权)人: 无锡鼎桥新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/04;H01L21/68;H01L21/673
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 张悦
地址: 214116 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 定位 功能 石墨
【说明书】:

实用新型公开了一种具有定位功能的石墨舟片,包括石墨舟片本体,所述石墨舟片本体的一侧开设有多个安装孔,安装孔内设有硅片,所述安装孔的两侧内壁之间滑动安装有同一个压板和底板,硅片位于对应的压板和底板之间,底板的顶部与对应的硅片的底部活动接触,安装孔的底部内壁上开设有两个第一矩形槽,第一矩形槽内滑动套设有矩形杆,矩形杆的顶端延伸至对应的安装孔内并与底板的底部固定连接。本实用新型设计合理,操作方便,便于快速的对硅片进行定位和固定,避免出现在镀膜的过程中因振动造成硅片晃动并从对应的安装孔内移出的现象,且便于快速的将硅片从对应的安装孔内移出,有利于使用。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟片技术领域,尤其涉及一种具有定位功能的石墨舟片。

背景技术

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率,这个工序就用到石墨舟,把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在硅片表面镀上一层膜,石墨舟片是组成石墨舟的重要组成部分,是用于固定镀膜硅片的装置,现有的操作方式是将硅片插在石墨舟片上,完成镀膜工艺。

现有的石墨舟舟片的硅片定位腔为一个个穿孔,是将石墨片挖空形成的,将硅片插装在对应的穿孔内,现有的石墨舟片对硅片的定位效果较差,由于硅片的大小不同,在将不同规格的硅片插入同一种规格的穿孔内时,会出现硅片与穿孔之间存在空隙的现象,进而造成硅片固定不紧的现象,在镀膜的过程中容易因振动造成硅片从穿孔内移出的现象,不能满足使用需求,因此我们提出了一种具有定位功能的石墨舟片用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种具有定位功能的石墨舟片。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种具有定位功能的石墨舟片,包括石墨舟片本体,所述石墨舟片本体的一侧开设有多个安装孔,安装孔内设有硅片,所述安装孔的两侧内壁之间滑动安装有同一个压板和底板,硅片位于对应的压板和底板之间,底板的顶部与对应的硅片的底部活动接触,安装孔的底部内壁上开设有两个第一矩形槽,第一矩形槽内滑动套设有矩形杆,矩形杆的顶端延伸至对应的安装孔内并与底板的底部固定连接,矩形杆的底端与对应的第一矩形槽的底部内壁之间固定连接有同一个弹簧,安装孔的顶部内壁上开设有第一矩形孔,第一矩形孔内滑动套设有移动杆,移动杆的底端延伸至对应的安装孔内并与压板的顶部固定连接,第一矩形孔的两侧内壁之间固定安装有同一个T形定位杆,移动杆滑动套设在T形定位杆上,第一矩形孔的一侧内壁上开设有顶部为开口设置的第一槽,第一槽的底部内壁上转动安装有螺杆,螺杆上螺纹套设有横杆,横杆的一端延伸至对应的第一矩形孔内并与移动杆的一侧顶部固定连接,第一槽的底部内壁上固定安装有第一定位杆,横杆滑动套设在对应的第一定位杆上,所述螺杆的顶端开设有矩形插槽。

优选的,所述横杆的顶部开设有螺纹孔,螺纹孔与对应的螺杆螺纹连接。

优选的,所述横杆的顶部开设有第二矩形孔,第二矩形孔的侧壁与对应的第一定位杆的外侧滑动连接。

优选的,所述移动杆的顶部开设有第二矩形槽,第二矩形槽的侧壁与T形定位杆的外侧滑动连接。

优选的,所述安装孔的两侧内壁上均开设有第一滑槽,压板的两侧均固定安装有第一滑块,第一滑块与对应的第一滑槽滑动连接。

优选的,所述安装孔的两侧内壁上均开设有第二滑槽,底板的两侧均固定安装有第二滑块,第二滑块与对应的第二滑槽滑动连接。

与现有的技术相比,本实用新型的有益效果是:

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