[实用新型]晶圆片装片设备

权利要求书

1.一种晶圆片装片设备，其特征在于，所述晶圆片装片设备包括：

晶圆台，其具有固定晶圆的台面，所述晶圆台沿竖直方向设置，所述晶圆台设置于第一平移机构上，所述第一平移机构驱动所述晶圆台在竖直面内进行XY运动；

取晶装置，其包括：取晶臂、枢转机构，所述取晶臂由所述枢转机构驱动在垂直于所述台面的平面内进行90°的枢转；

装片台，其具有固定基板的工作面，所述装片台沿水平方向设置，所述装片台设置于第二平移机构上，所述第二平移机构驱动所述装片台在水平面内进行XY运动；

凸轮机构，其包括凸轮，所述凸轮分别设置于取晶位置和装片位置处。

2.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述晶圆台上开设有真空吸孔，所述真空吸孔均匀布置于所述台面上，相邻真空吸孔之间的间距小于一个晶圆片的最小尺寸。

3.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述第一平移机构包括：第一底座、供所述第一底座沿X方向滑动的第一导轨、设置于所述第一底座上的第二底座、供所述第二底座沿Y方向滑动的设置于所述第一底座上的第二导轨，所述第一平移机构设置于一竖直方向设置的支架上。

4.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述枢转机构为一旋转电机，所述取晶臂的一端与所述旋转电机传动连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述装片台上还设置有压板，所述压板压住待装片的基板的四周边缘。

6.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述第二平移机构包括：第三底座、供所述第三底座沿X方向滑动的第三导轨、设置于所述第三底座上的第四底座、供所述第四底座沿Y方向滑动的设置于所述第三底座上的第四导轨，所述第二平移机构设置于一水平方向设置的支架上。

7.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述取晶位置和装片位置为固定位置，所述凸轮由电机驱动带动所述取晶臂取晶和装片。

8.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述晶圆片装片设备还包括沾胶台，所述沾胶台位于所述装片台的上游，所述沾胶台与装片台之间设置有传送臂，所述沾胶台上设置有沾胶槽。

9.根据权利要求1所述的晶圆片装片设备，其特征在于，所述取晶位置和装片位置处还设置有视觉检测装置。