[实用新型]双轴阵列反射式MEMS芯片及照明系统有效
| 申请号： | 201921777150.8 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN210428056U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郭田忠;戈斌;朱明华 | 申请（专利权）人： | 华域视觉科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/00 | 分类号： | G03B21/00;G03B21/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李双娇 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列 反射 mems 芯片 照明 系统 | ||
1.一种双轴阵列反射式MEMS芯片，其特征在于，包括多个呈阵列式分布的MEMS微镜(11)和多个MEMS微镜驱动电路，所述MEMS微镜(11)对投射光线进行反射，所述多个MEMS微镜驱动电路与所述多个MEMS微镜(11)一一对应地相连接并驱动每个所述MEMS微镜(11)单独绕所述MEMS微镜(11)与所述投射光线相垂直的横向轴或纵向轴转动。
2.根据权利要求1所述的双轴阵列反射式MEMS芯片，其特征在于，还包括支撑框架(12)，所述MEMS微镜(11)可绕所述横向轴和所述纵向轴转动地设于所述支撑框架(12)上，所述多个MEMS微镜(11)在所述支撑框架(12)上呈阵列式分布。
3.根据权利要求1所述的双轴阵列反射式MEMS芯片，其特征在于，所述MEMS微镜(11)可绕所述横向轴和所述纵向轴转动地设于MEMS微镜座(13)上，所述多个MEMS微镜(11)通过所述MEMS微镜座(13)阵列式贴设于同一基板(14)上。
4.根据权利要求1所述的双轴阵列反射式MEMS芯片，其特征在于，相邻所述MEMS微镜(11)之间具有间距。
5.根据权利要求1所述的双轴阵列反射式MEMS芯片，其特征在于，所述MEMS微镜驱动电路驱动所述MEMS微镜(11)转动的驱动方式为电磁式、静电式、压电式和电热式中的任意一种或多种的组合。
6.一种照明系统，其特征在于，包括光源(2)和如权利要求1至5中任意一项所述的双轴阵列反射式MEMS芯片，所述光源(2)发出的光线投射在所述MEMS微镜(11)上并经所述MEMS微镜(11)反射后射出。
7.根据权利要求6所述的照明系统，其特征在于，所述光源(2)为卤素光源或氙气光源或LED光源或激光光源。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华域视觉科技（上海）有限公司，未经华域视觉科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921777150.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车轮毂轴承抓取装置
- 下一篇：一种集成式生鲜照明光源
