[实用新型]真空腔室动密封驱动总成

权利要求书

1.一种真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，包括：

管架，为直管体，该直管体的轴向为预定的直线运动方向，且该直管体的一端与真空腔室间固定连接；

直线驱动部，固定安装管架的另一端；

托板，位于管架内，并由所述直线驱动部的输出构件所驱动；

托杆，通过第一轴承安装在托板上，为驱动总成的驱动对象；

键套，通过第二轴承安装在管架内，并与托杆间形成键连接，使托杆具有轴向的自由度和基于键套的周向自由度；以及

旋转驱动部，安装在管架上，并输出驱动所述键套，以使托杆具有预定的旋转运动。

2.根据权利要求1所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述直线驱动部包括第一动力舱，该第一动力舱与管架间形成第一密封结构。

3.根据权利要求2所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述直线驱动部包括一端通过第三轴承安装在第一动力舱的丝杠和安装在所述托板上并与丝杠间形成丝母丝杠机构的丝母；

于管架内固定设置有一座板，所述丝杠的另一端通过第四轴承安装在所述座板上；

相应地，丝杠的轴向与管架的轴向平行。

4.根据权利要求3所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，丝杠有两条，两条丝杠间关于托杆的轴线对称。

5.根据权利要求4所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述第一轴承为万向节轴承。

6.根据权利要求2~5任一所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，直线驱动部的原动部件安装在第一动力舱外，原动部件与第一动力舱间通过磁流体密封装置安装在第一动力舱上。

7.根据权利要求1所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述键套为花键套或平键套。

8.根据权利要求1所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述旋转驱动部位于管架的中部，并包括第二动力舱；

所述管架为多节段结构，于第二动力舱处，相应的管段与第二动力舱间构成法兰连接。

9.根据权利要求8所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，旋转驱动部包括：

从动构件，固定安装在所述键套上；

主动构件，与所述从动构件配合形成输出副；

旋转驱动原动件，位于所述第二动力舱外，输出部分与所述主动构件间配合并与第二动力舱间形成旋转动密封。

10.根据权利要求9所述的真空腔室动密封驱动总成，其特征在于，所述从动构件为涡轮或者从动锥齿轮；

相应地，所述主动构件为与所述涡轮配合的蜗杆或与所述从动锥齿轮配合的主动锥齿轮；

蜗杆或者主动锥齿轮的齿轮轴与所述直线运动方向垂直。