[实用新型]一种新型离心式硅片甩干机

说明书

一种新型离心式硅片甩干机，包括甩干桶、桶盖、电机、皮带轮以及转轴，桶盖罩盖在甩干桶上，电机的输出轴与皮带轮连接，皮带轮与转轴一端连接，转轴另一端穿过甩干桶底部后与设置在甩干桶内部的硅片承载装置固接，所述桶盖的中心开设有贯通的空气入口，在空气入口内安装有空气过滤网，所述甩干桶的侧壁开设有空气导流口，该空气导流口与空气导流管连通。本实用新型在桶盖上开设空气入口，并在空气入口处设置空气过滤网，在甩干桶内部硅片及硅片承载装置高速旋转的离心力作用下形成自上而下高速气流，从而将硅片上的水汽由空气导流口排出甩干桶，可以在杜绝空气污染和减少能耗的情况下，实现硅片的甩干脱水，并且成本低廉，甩干脱水效果好。

技术领域

本实用新型属于太阳能和半导体的甩干技术领域，特别涉及一种新型离心式硅片甩干机。

背景技术

在太阳能和半导体硅片通过清洗机后需要经过甩干机对硅片进行甩干脱水，在甩干的过程中，为了保证硅片能够完全的甩干脱水，需要在甩干桶内部形成自上而下的气流把硅片表面的水气带走。在现有的设备上，如图1所示，都是通过氮气源往甩干桶101内部通入氮气，但是由于成本的问题不能通入大量的氮气，只能通入少量的氮气，少量的氮气必须经过加热后形成100度以上的高温氮气流才能把硅片甩干。所以氮气在通入甩干桶之前需要经过油浴炉102加热到100度以上。甩干桶内设有用于承载安放硅片的硅片承载装置108，该硅片承载装置通过甩干桶外部设置的电机109的输出轴带动皮带轮110、皮带轮再带动转轴111实现高速旋转，油浴炉102内部设有导热油103、盘管104、电加热管105，导热油103在经过电加热管105加热到150度，再经过盘管104的热交换把流经盘管的氮气流加热到100度以上，之后通过与甩干桶相连通的氮气管106、氮气管上均匀分布的喷嘴112进入甩干桶对硅片107进行干燥处理，甩干桶上罩盖有桶盖113实现密封。但是导热油在高温下会挥发并且产生气味，会对环境造成污染，同时加热的时候会消耗电能，甩干桶总功率5KW，其中光加热导热油就要消耗一半左右的功率，因此如何不使用油浴炉就可以使硅片甩干，还能降低成本，是有很大意义的。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提出一种新型甩干机，其设有太阳能和半导体硅片清洗后甩干机的通风机构，可以达到甩干目的，也能代替油浴炉加热导热油的部分，节能环保。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种新型离心式硅片甩干机，包括甩干桶、桶盖、电机、皮带轮以及转轴，桶盖罩盖在甩干桶上，电机的输出轴与皮带轮连接，皮带轮与转轴一端连接，转轴另一端穿过甩干桶底部后与设置在甩干桶内部的硅片承载装置固接，所述桶盖的中心开设有贯通的空气入口，在空气入口内安装有空气过滤网，所述甩干桶的侧壁开设有空气导流口，该空气导流口与空气导流管连通。

本实用新型还采用以下技术方案进一步实现。

前述的新型离心式硅片甩干机，其中所述空气过滤网设有多层。

前述的新型离心式硅片甩干机，其中所述硅片承载装置为花篮承载架。

前述的新型离心式硅片甩干机，其中所述甩干桶的内部还设有出水口。

借由上述技术方案，本实用新型在桶盖上开设空气入口，并在空气入口处设置空气过滤网，在甩干桶内部硅片及硅片承载装置高速旋转的离心力作用下，可以将桶盖上方的干燥空气吸入桶内，并将硅片上的水汽由空气导流口排出，因此本实用新型可以在杜绝空气污染和减少能耗的情况下，实现硅片的甩干脱水，并且成本低廉，甩干脱水效果好。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是现有技术中硅片甩干机的结构示意图。