[实用新型]脱落报警机构与真空蚀刻机喷淋装置

权利要求书

1.一种脱落报警机构，其特征在于，包括：

固定件，所述固定件用于安装在连接部件上；

触发件，所述触发件与所述固定件传动连接；及

报警结构，所述报警结构包括报警器、及与所述报警器电性连接的开关组件，所述开关组件与所述触发件触发配合，所述触发件移动用于使得所述开关组件处于闭合状态。

2.根据权利要求1所述的脱落报警机构，其特征在于，所述开关组件包括第一导电件、第二导电件及驱动件，所述第一导电件与所述第二导电件均与所述报警器电性连接，所述触发件位于所述第一导电件与所述第二导电件之间，且所述第一导电件与所述第二导电件通过所述触发件绝缘隔开，所述驱动件用于驱使所述第一导电件与所述第二导电件相接触。

3.根据权利要求2所述的脱落报警机构，其特征在于，所述报警结构还包括支座，所述驱动件为弹性件，所述第一导电件通过所述弹性件设置在支座上，所述触发件移离所述第一导电件与所述第二导电件之间时，所述第一导电件在所述弹性件的作用下与所述第二导电件接触。

4.根据权利要求3所述的脱落报警机构，其特征在于，所述支座包括底板、及设置在所述底板上的支撑板，所述第一导电件、所述第二导电件及所述报警器均位于所述底板上，且所述第一导电件通过所述弹性件设置在所述支撑板上。

5.根据权利要求4所述的脱落报警机构，其特征在于，所述底板上设有第一导向孔，所述触发件穿入所述第一导向孔中，并位于所述第一导电件与所述第二导电件之间。

6.根据权利要求5所述的脱落报警机构，其特征在于，还包括盖体，所述盖体盖设在所述支座上，所述盖体上设有与所述第一导向孔相对设置的第二导向孔。

7.根据权利要求3所述的脱落报警机构，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧一端与所述支座连接，所述弹簧另一端与所述第一导电件连接。

8.根据权利要求7所述的脱落报警机构，其特征在于，还包括导向件，所述导向件设置在所述支座上，所述弹簧套接在所述导向件内。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的脱落报警机构，其特征在于，所述固定件为管夹，所述管夹用于夹持在所述连接部件上；或者，

所述报警结构还包括电源，所述电源、所述开关组件及所述报警器串联方式连接。

10.一种真空蚀刻机喷淋装置，其特征在于，包括喷淋管与权利要求1-9任意一项所述的脱落报警机构，所述固定件固定在所述喷淋管上。