[实用新型]一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件

说明书

本实用新型提供了一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件，包括联接板和设置于联接板上的第一安装架、第二安装架，联接板为矩形板，联接板还沿中心轴方向预留供连接轴通过的连接通孔，联接板连接第一安装支架和第二安装支架；第一安装支架上预留供第一安装螺栓通过的第一连接孔，第二安装支架上预留供第二安装螺栓通过的第二连接孔，第一安装支架通过第一安装螺栓连接于编码器的外壁处，第二安装支架通过第二安装螺栓连接于联接件底座，第一安装支架和第二安装支架均设置为两个，两个第一安装支架和两个第二安装支架还分别对称设置。使用本实用新型后的编码器轴向窜动量小，定位效果良好且更换方便。

技术领域

本实用新型属于单晶硅技术领域，具体涉及一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件。

背景技术

粘棒是从晶棒加工成硅片的第一步工序。用线切割专用定向粘接系统把已经滚磨好的单晶硅棒按晶向切割要求进行X光定向，根据计算机所计算的α和β角度值，在粘接台上定出粘接位置，先以β角度值把晶棒粘到树脂条上，再以α角度粘在钢板上，经过复检合格后，在室温下进行凝固。粘棒的目的是把晶棒以这样的一种方式进行固定，便于安装到线切割机上直接进行自动切割操作，使切割后的所有硅片晶向稳定，质量稳定，并且牢固的留在工件板上。

目前广泛使用的是YX-6Z硅单晶棒粘接台，定向工作过程是：把被粘晶棒水平放到晶棒支撑滚杠上，晶棒参考面向上，平行与回转台上的料板燕尾槽，把Y轴编码器调节到晶棒断面中心点位置，把编码器推向晶棒端面，使编码器吸盘与晶棒端面靠紧，打开真空吸气开关，使吸气盘与晶棒端面吸合紧，根据定向计算的Y轴数据，转动晶棒，观察数显表使之转到与计算的角度值一致即可。

但这类硅单晶棒粘接台的编码器与基座之间的联接件本体单薄，连接面少，在晶棒旋转过程中，造成以下问题：轴向窜动量大，编码器损坏；定向精确度不够，粘棒时误差大及联接件本体损坏等的问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件，使编码器的轴向窜动量小，定位效果良好，更换方便。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件，用于连接编码器和联接件底座，其特征在于：包括联接板和设置于联接板上的第一安装架、第二安装架，所述联接板为矩形板，联接板还沿中心轴方向预留供连接轴通过的连接通孔，所述联接板连接所述第一安装支架和所述第二安装支架；所述第一安装支架上预留供第一安装螺栓通过的第一连接孔，所述第二安装支架上预留供第二安装螺栓通过的第二连接孔，所述第一安装支架通过第一安装螺栓连接于编码器的外壁处，所述第二安装支架通过第二安装螺栓连接于联接件底座，所述第一安装支架和所述第二安装支架均设置为两个，两个第一安装支架和两个第二安装支架还分别对称设置。

进一步的，所述第一安装支架和所述第二安装支架均连接于联接板的顶角处。

进一步的，所述第二安装支架包括安装板和固定板，所述安装板的两端分别连接所述固定板和所述联接板，所述安装板还分别垂直于所述固定板和所述联接板，所述固定板上还预留所述第二连接孔。

进一步的，所述第一安装支架和所述第二安装支架分别连接所述固定板的两个端面。

进一步的，所述第一连接孔和所述第二连接孔均为腰形孔。

进一步的，所述第一连接孔设置为两个，两个第一连接孔还相互平行。