[实用新型]硅棒研磨机

权利要求书

1.一种硅棒研磨机，其特征在于，包括：

机座，具有硅棒加工平台；所述硅棒加工平台设有第一加工区位和第二加工区位；

第一转移装置，包括第一硅棒夹具、沿第一方向设置的第一转移导轨、以及用于驱动所述第一硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第一转移导轨移动并在第一加工区位和第二加工区位之间转移的第一驱动机构；

第二转移装置，包括第二硅棒夹具、沿第一方向设置的第二转移导轨、以及用于驱动所述第二硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第二转移导轨移动并在第一加工区位和第二加工区位之间转移的第二驱动机构；

粗磨装置，设于所述硅棒加工平台的第一加工区位处，用于对位于第一加工区位处的硅棒进行粗磨作业；以及

精磨装置，设于所述硅棒加工平台的第二加工区位处，用于对位于第二加工区位处的硅棒进行精磨作业。

2.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第一转移装置和第二转移装置通过一安装框架设于所述硅棒加工平台的上方。

3.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第一硅棒夹具包括：

夹臂安装座，设于所述第一转移导轨上；

至少两个夹臂，沿第一方向对向设置，用于夹持硅棒的两个端面；以及

夹臂驱动机构，用于驱动至少两个夹臂中的至少一个夹臂沿着所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第一硅棒夹具为升降式硅棒夹具。

5.根据权利要求3所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述夹臂为旋转式结构；所述第一硅棒夹具还包括夹臂转动机构，用于驱动所述夹臂转动。

6.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第二硅棒夹具包括：

夹臂安装座，设于所述第二转移导轨上；

至少一对夹臂，沿第一方向对向设置，用于夹持硅棒的两个端面；以及

夹臂驱动机构，用于驱动至少两个夹臂中的至少一个夹臂沿着所述第一方向移动。

7.根据权利要求6所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第二硅棒夹具为升降式硅棒夹具。

8.根据权利要求6所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述夹臂为旋转式结构；所述第二硅棒夹具还包括夹臂转动机构，用于驱动所述夹臂转动。

9.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第一驱动机构包括：

第一移动齿轨，沿第一方向设置；

第一驱动齿轮，设于所述第一硅棒夹具且与所述第一移动齿轨啮合；以及

第一驱动动力源，用于驱动所述第一驱动齿轮。

10.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述第二驱动机构包括：

第二移动齿轨，沿第一方向设置；

第二驱动齿轮，设于所述第二硅棒夹具且与所述第二移动齿轨啮合；以及

第一驱动动力源，用于驱动所述第二驱动齿轮。

11.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述粗磨装置包括：

至少一对粗磨磨具，对向设置于所述硅棒加工平台的第一加工区位处；

粗磨磨具进退机构，用于驱动所述至少一对粗磨磨具中的至少一个粗磨磨具沿第二方向作横向移动，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。

12.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述精磨装置包括：

至少一对精磨磨具，对向设置于所述硅棒加工平台的第一加工区位处；

精磨磨具进退机构，用于驱动所述至少一对精磨磨具中的至少一个精磨磨具沿第二方向作横向移动，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。