[实用新型]一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构

权利要求书

1.一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：在等离子体处理设备的真空腔体(1.4)内设置有串列排列的电极板组，每组电极板组由上电极板(1.1)和下电极板(1.2)组成，在上电极板(1.1)和下电极板(1.2)之间激发产生等离子体，PCB (1.3)在等离子体中间通过完成处理，所述PCB (1.3)通过滚轮传输通过等离子体区域，所述滚轮传输机构包括分别设置于上电极板(1.1)和下电极板(1.2)上的上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)。

2.根据权利要求1所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：所述电极板厚度为2~3厘米，所述上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)为直径范围为5~15厘米的交错滚轮或者直径范围为0.5~2.5厘米的长直滚轮。

3.根据权利要求2所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：所述上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)为直径范围为5~15厘米的交错滚轮时,在上电极板(1.1)和下电极板(1.2)上开出通槽(3.2)，使得上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)能从等离子体区域外伸入到等离子体区域内，上滚轮转轴(2.3)和下滚轮转轴(2.4)设置在等离子体区域外，上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)采用绝缘的聚合物材料，上电极板(1.1)和下电极板(1.2)以及配套的滚轮是上下对称的。

4.根据权利要求3所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：上滚轮转轴(2.3)和下滚轮转轴(2.4)上设置一排滚轮串在一起，并带动一整排滚轮同步转动，上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)分别在上电极板(1.1)和下电极板(1.2)上的排布按照交错重复进行。

5.根据权利要求2所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：所述上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)为直径范围为0.5~2.5厘米的长直滚轮时,所述上电极板(1.1)和和下电极板(1.2)是实心的平板无开槽设计，在两片极板之间的等离子体区中间设置等间距的上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)。

6.根据权利要求5所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：所述上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)的形状为长直细棒，其长度大于电极板区域(5.3)，上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)的端部在等离子体区域外部进行支撑和动力的输入，上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)的材料为钢制芯棒外包聚四氟乙烯材料，上滚轮(2.1)和下滚轮(2.2)暴露在等离子体区域的部分是绝缘耐腐蚀材料，在相邻的两根或者多根滚轮之间设置防卡板横梁(5)。

7.根据权利要求6所述的一种PCB等离子体处理设备滚轮传输机构，其特征在于：所述防卡板横梁(5)的两端是圆环(5.1)，圆环之间通过横梁(5.2)连接成整体，圆环(5.1)嵌套在滚轮中与滚轮同轴心。