[实用新型]一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置

权利要求书

1.一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置，包括反应腔室，反应腔室外部设有加热单元，反应腔室内设有热场；其特征在于，还包括温度测量单元、加热单元提升系统和可编程逻辑控制器；

所述的加热单元包含感应线圈与电源，感应线圈设于反应腔室外部，所述加热单元提升系统与感应线圈和可编程逻辑控制器相连，加热单元提升系统能在可编程逻辑控制器的控制下带动感应线圈沿反应腔室外壁做竖向运动；

所述温度测量单元包括多个光学温度测量传感器，设于反应腔室的顶部和底部并与所述可编程逻辑控制器相连。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置，其特征在于，所述的反应腔室包括石英筒，所述石英筒上下端面分别密封安装上下炉盖；上下炉盖中心设有通孔。

3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置，其特征在于，光学温度测量传感器有两个，分别固定于上下炉盖的中心通孔处。

4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置，其特征在于，所述加热单元的电源为中频电源。

5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置，其特征在于，所述加热单元提升系统包括传动装置和伺服电机，所述传动装置包括导轨座，导轨座上沿竖向设有滚珠丝杆；所述感应线圈通过滑块与滚珠丝杆相连，减速机与滚珠丝杆相连；伺服电机与减速机相连，伺服电机还通过伺服电机驱动器连接所述可编程逻辑控制器。