[实用新型]一种晶圆铁环放置推车

权利要求书

1.一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，其特征在于，还包括水平设置的底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，底板上设置有摆放架，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，每根定位立杆均与晶圆铁环的外边缘相贴合，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有截面为U形的定位件，定位件包括左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间设置有中间板；定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆铁环放置推车，其特征在于，所述摆放架包括两根左右对称的竖直支撑杆，每根支撑杆上均固定连接有水平的支撑条，支撑条长度方向与底板宽度方向平行，各片晶圆铁环从上到下依次堆叠放在两根支撑条上。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆铁环放置推车，其特征在于，所述立柱的左右两侧均固定连接有一组定位组件，每组定位组件包括两个上下对应分布的定位螺丝，定位件左侧板和右侧板上均一体设置有两个上下对应分布的挂钩，挂钩下侧具有L形凹槽，两个挂钩分别挂在立柱对应一侧的两个定位螺丝上，定位螺丝插入对应凹槽内。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆铁环放置推车，其特征在于，所述底板上对应各定位立杆设置有若干安装座，安装座上竖直开设有安装孔，所述定位立杆的下端插入对应安装座的安装孔内；安装座的数量多于定位立杆的数量。

5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆铁环放置推车，其特征在于，所述推车放置在机台上，机台上对应前定位面设置有机台立柱，机台立柱上也固定连接有定位件，定位件与前定位面相贴合。