[实用新型]一种钨离子件加工用固定夹持装置有效
申请号: | 201921813457.9 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN210467757U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 易民开;杜印;邱远攀;贺帮志 | 申请(专利权)人: | 昆山海利菲精密机械有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
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地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 工用 固定 夹持 装置 | ||
本实用新型公开了一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座,所述底座的上端面上固定安装有靶室,所述靶室的上端面上设置有聚焦透镜,所述靶室的左右两侧设置有移动夹持座,所述移动夹持座上设置有固定机构,所述移动夹持座的左侧设置有安装座,所述安装座上设置有调节机构,本实用新型为一种钨离子件加工用固定夹持装置,通过设置移动夹持座、转动座和第二夹板等,达到了自动对工件进行位移转动,提高钨离子件的加工效率,解决了目前的钨离子件加工用固定夹持装置,功能简陋,仅仅具备夹持功能,需要人工对工件进行移动调整,加工效率低下的问题。
技术领域
本实用新型涉及钨离子件加工技术领域,具体为一种钨离子件加工用固定夹持装置。
背景技术
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做溅射;而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做散射;另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入,通过向钨材料内部进行离子注入获得钨离子件。
目前的钨离子件加工用固定夹持装置,功能简陋,仅仅具备夹持功能,需要人工对工件进行移动调整,加工效率低下。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种钨离子件加工用固定夹持装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座,所述底座的上端面上固定安装有靶室,所述靶室的上端面上设置有聚焦透镜,所述靶室的左右两侧设置有移动夹持座,所述移动夹持座上设置有固定机构,所述移动夹持座的左侧设置有安装座,所述安装座上设置有调节机构。
优选的,所述移动夹持座的下端面上固定安装有移动块,所述底座的上端面上对应移动块位置处开设有移动槽,所述移动块设置在移动槽的内部,所述移动槽的左右侧壁之间转动安装有丝杆,所述移动槽的右侧设置有第一电机,所述第一电机的输出端与丝杆固定连接,所述移动块设置在丝杆上。
优选的,所述固定机构包括安装板,所述安装板前后对称设置在移动夹持座的上端面上,所述安装板的背离面上固定安装有若干个对称分布的气压缸,所述气压缸的输出端固定安装有第一夹板。
优选的,所述第一夹板上设置有第一柔性垫,所述移动夹持座的上端面上开设有在压紧槽。
优选的,所述调节机构包括转动座,所述转动座转动安装在安装座的内部,所述转动座的外侧壁上固定套装有传动齿,所述安装座的左侧端面上固定安装有第二电机,所述第二电机的输出端固定安装有驱动齿,所述驱动齿与传动齿相啮合。
优选的,所述转动座的内部开设有通槽,所述通槽的内部设置有若干个均匀分布的第二夹板,所述转动座的内部对应第二夹板的位置处设置有电动推杆,所述电动推杆的输出端与第二夹板固定连接,所述第二夹板上设置有第二柔性垫。
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