[实用新型]一种钨离子件加工用固定夹持装置有效

专利信息
申请号: 201921813457.9 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN210467757U 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 易民开;杜印;邱远攀;贺帮志 申请(专利权)人: 昆山海利菲精密机械有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 离子 工用 固定 夹持 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座,所述底座的上端面上固定安装有靶室,所述靶室的上端面上设置有聚焦透镜,所述靶室的左右两侧设置有移动夹持座,所述移动夹持座上设置有固定机构,所述移动夹持座的左侧设置有安装座,所述安装座上设置有调节机构,本实用新型为一种钨离子件加工用固定夹持装置,通过设置移动夹持座、转动座和第二夹板等,达到了自动对工件进行位移转动,提高钨离子件的加工效率,解决了目前的钨离子件加工用固定夹持装置,功能简陋,仅仅具备夹持功能,需要人工对工件进行移动调整,加工效率低下的问题。

技术领域

本实用新型涉及钨离子件加工技术领域,具体为一种钨离子件加工用固定夹持装置。

背景技术

离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做溅射;而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做散射;另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入,通过向钨材料内部进行离子注入获得钨离子件。

目前的钨离子件加工用固定夹持装置,功能简陋,仅仅具备夹持功能,需要人工对工件进行移动调整,加工效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种钨离子件加工用固定夹持装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座,所述底座的上端面上固定安装有靶室,所述靶室的上端面上设置有聚焦透镜,所述靶室的左右两侧设置有移动夹持座,所述移动夹持座上设置有固定机构,所述移动夹持座的左侧设置有安装座,所述安装座上设置有调节机构。

优选的,所述移动夹持座的下端面上固定安装有移动块,所述底座的上端面上对应移动块位置处开设有移动槽,所述移动块设置在移动槽的内部,所述移动槽的左右侧壁之间转动安装有丝杆,所述移动槽的右侧设置有第一电机,所述第一电机的输出端与丝杆固定连接,所述移动块设置在丝杆上。

优选的,所述固定机构包括安装板,所述安装板前后对称设置在移动夹持座的上端面上,所述安装板的背离面上固定安装有若干个对称分布的气压缸,所述气压缸的输出端固定安装有第一夹板。

优选的,所述第一夹板上设置有第一柔性垫,所述移动夹持座的上端面上开设有在压紧槽。

优选的,所述调节机构包括转动座,所述转动座转动安装在安装座的内部,所述转动座的外侧壁上固定套装有传动齿,所述安装座的左侧端面上固定安装有第二电机,所述第二电机的输出端固定安装有驱动齿,所述驱动齿与传动齿相啮合。

优选的,所述转动座的内部开设有通槽,所述通槽的内部设置有若干个均匀分布的第二夹板,所述转动座的内部对应第二夹板的位置处设置有电动推杆,所述电动推杆的输出端与第二夹板固定连接,所述第二夹板上设置有第二柔性垫。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山海利菲精密机械有限公司,未经昆山海利菲精密机械有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921813457.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top